中古 SCIVAX Flan-200-U100-4 #9206230 を販売中

SCIVAX Flan-200-U100-4は、直径200mmまでのウェーハサイズに対応可能なウェーハステッパーです。ステッパーは100nm 4：1の縮小イメージングレンズシステムを使用し、ウェーハ表面に細部を記録することができます。高精度のイメージングアームと機械の低熱負荷により、その性能と精度が損なわれないようにします。このマシンには、高速グラバーとウェーハのアライメント用のフルオートステージが装備されています。また、複数のウェーハを同時に処理することもできます。回転速度は、フル回転あたり50〜200秒の間で調整できます。また、可能な限り最高品質のイメージングを保証する調整可能なカメラヘッドを備えています。ウエハステッパーは、基板やイメージング素子によって引き起こされる反射を最小限に抑えるために、統合された反射防止コーティング（ARC）モジュールを備えています。これにより、画像ができるだけ鮮明でシャープであることが保証されます。また、イメージング時にウェーハを確実に固定できる高度な真空システムを搭載しています。Flan-200-U100-4ステッパーには、ライン長、解像度、再現性などの必要なパラメータを使用してプログラムすることができるソフトウェアが内蔵されています。さらに、リソグラフィ、フォトリソグラフィ、MOSFET加工、LCDディスプレイ製造、電子ペーパーディスプレイなど、さまざまな用途にカスタマイズできます。ステッパーは安全性と信頼性のために設計されています。センサーとアラームを搭載し、エラーや誤動作を検出します。これにより、マシンが問題に遭遇した場合、ウェハが損傷しないようにします。また、バックアップと復元のためのさまざまなオプションがあり、安全機能をさらに強化します。SCIVAX Flan-200-U100-4ウェーハステッパーは、高精度で信頼性の高い機械です。ウェーハ製作、ウェーハ検査、その他のプロセスに最適です。高度なイメージングシステムと組み込みの安全機能により、あらゆる生産ラインに最適です。