中古 SCIVAX Flan-200-U100-4 #9205055 を販売中

SCIVAX Flan-200-U100-4は、フォトリソグラフィープロセス中に半導体ウェーハの精密なアライメントと露出を提供する自動ウェーハステッパーです。最大4個のウェーハを200mmサイズで同時に処理できます。最大のウェーハサイズです。ベンチトップのレイアウト、手動カセットローディング、最大4面アライメント、バッチスケジューラプログラム、高精度ステッピングメカニズムにより、ユーザーにとって容易な環境を提供します。Flan-200-U100-4は、ウェーハ上の成膜、アッシング、エッチングなど、幅広いフォトリソグラフィ用途に使用できます。広い調節可能な照明窓を持ち、最大2000mmのサイズのウェーハを露出することができます。さらに、その光源と検出器ユニットは、ウェーハの一貫した正確な露出と向きを保証するように構成されています。バッチスケジューリングシステムとイメージキャプチャプログラムは、ステッパーの操作をさらに簡素化します。ステッパーには、自動露出プログラム、自動登録、自動認識、および自動シーケンシャル露出アライメントなど、ウェーハの再現可能な処理を可能にするいくつかの機能があります。これらのすべてにより、ステッパーはユーザー制御を必要とせずに自動的にウェーハを処理できます。さらに、ステッパーのすべての操作は低ノイズレベルでサポートされており、効率的な液体冷却および空気排気システムのため、ステッパーは使用中に涼しく（33〜35°C）維持されます。X/Yテーブルは高精度で、1umおよび0。1度のアライメントを可能にし、X軸とY軸の両方で優れた再現性と、統合ビジョンシステム整流プログラムのプログラミングを容易にするためのフル機能のティーチインインターフェイスを備えています。ウェーハに最適な露光を提供するために2つの光源があり、水銀キセノン短円弧ランプと1000Wまたはクリプトン-キセノンランプがあり、露光時間の広い緯度に500Wオプションがあります。このステッパーには、手動で介入することなく、露出プロセスのウェーハを自動的かつ正確にマウントするために使用されるAMHS Robot Contro Interface （ARC-2）と、最高のウェーハ結果のエラーを検出および検出するために使用される自動開発ユニットが含まれています。安全対策の一環として、SCIVAX Flan-200-U100-4には、発生時に光源と検出器のユニットを自動停止させる非常停止スイッチと、運転中に放出される危険な紫外線を遮断するフィルターが用意されています。ステッパーには、レーザー安全保護カバーが内蔵されており、必要に応じて光源と検出器のユニットを自動的にシャットダウンし、ユーザーに知覚された危険を警告します。Flan-200-U100-4は自動化された高精度ウェーハステッパーで、半導体ウェーハの自動アライメント、露出、登録を提供します。複数の安全機能、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、堅牢なビルドを備えたSCIVAX Flan-200-U100-4は、フォトリソグラフィープロセスに最適です。