中古 SCANLAB intelliSCAN 20 #293658208 を販売中

SCANLAB intelliSCAN 20は、マイクロエレクトロニクス処理システムで使用されるウェハステッパーです。それはそれを多数の適用に適したようにするさまざまな先端技術を提供します。IntelliSCAN 20は、2つのガルバノメータベースのスキャナと3つ目のリニアモータ駆動ステージを含む古典的な3軸ガルバノメートルスキャンシステムを使用しています。スキャナは高速で高精度なステップサイズを備え、リニアステージはウェーハの柔軟な位置決めのための広い視野を提供します。3つの軸はすべて同時に動くことができ、高いスループットとウェーハの位置の動的制御を可能にします。SCANLAB intelliSCAN 20には、10Xから2000Xまでのさまざまな倍率をサポートするさまざまなレンズオプションがあります。これにより、高解像度イメージング、フォトリソグラフィ、レジストパターニングなどのプロセスでの使用に最適です。レンズの収差が低いため、イメージングおよびレジストパターニングの位置決めにおいて可能な限り最高の精度が得られます。IntelliSCAN 20は、高精度の8ビットステッピングモータを搭載し、高精度な位置決めを可能にします。また、このモータは、アプリケーション固有の要件に対応するための幅広い調整オプションを提供します。SCANLAB intelliSCAN 20には、OverScan、省電力、自動校正、クリーンセットアップ、コンパクトデザインなどの高度な機能が搭載されています。OverScanを使用すると、ウェーハの変更時にデジタルアライメントが可能になり、システムを迅速に再調整できます。省電力機能は、設定された間隔の後にシステムを自動的にスリープさせ、エネルギーを節約します。Auto CalibrationはintelliSCAN 20の操作の正確さそして一貫性を保障します。Clean Setupは、外部調整を必要としない低メンテナンスソリューションを提供します。コンパクト設計により、SCANLAB intelliSCAN 20はスペースを効率的に使用でき、軽量ベンチトップ顕微鏡やハイスループット生産などの他のアプリケーションに適しています。全体的に、intelliSCAN 20は、さまざまなマイクロエレクトロニクスアプリケーションのための正確な制御と高スループットを提供する高性能ウェーハステッパーです。これは、さまざまな環境で正確かつ信頼性の高い動作を確保するための高度な機能と技術の範囲を誇っています。