中古 PRECISION / GCA 19 #9081984 を販売中

PRECISION/GCA 19は、高度な自動化半導体リソグラフィ装置です。本装置は、フォトリソグラフィ、マスクアライメント、自動ウェハハンドリングを1つのシステムに統合した集積回路（IC）の生産ラインの一部です。GCA 19の大きなフレームは、高さ116 cm、幅203 cm、深さ41 cmです。ウェーハの位置合わせに使用されるステージには、5軸の動き（X、 Y、 Z軸、 2軸のシータ軸）があります。2つのシータ軸は、ウェーハ平面を回転および傾け、自動アライメントのために異なる角度に移動する機能をユニットに提供します。マシンはマスクから反射された光を使用し、ウェーハに向けてアライメントとリソグラフィを生成します。これは、3点の幾何学的フィーチャーベースのアライメントツールと、2つの角度傾きと2つの横回転軸でウェーハを正確に位置合わせすることができる特許取得済みの「平面回転」技術を採用しています。3点幾何学的アセットにより、パターンの正確なアライメントとさまざまなウェーハの正確なオーバーレイが可能です。PRECISION 19はまた、内部で冷却されたアルゴン/フッ化レーザーを使用し、超短パルス長で照明を行い、材料を加熱または損傷するリスクなしにウェーハ表面を最大限に露出させることができます。レーザーモデルはまた、さまざまな波長範囲でウェーハを露出することができ、複数の異なる材料や層のより良い処理を可能にします。この装置には高速アライメントスコープが内蔵されており、高速かつ正確な操作を可能にする自動システムを可能にします。さらに、複数のセンサーを使用してレーザーの露出レベルを監視および調整し、ユーザー入力用の大きなタッチスクリーンインターフェイスを備えています。これにより、オペレータは生産のさまざまな段階を制御し、信頼できる結果を得ることができます。要するに、19は信頼性の高い正確な生産ラインのウェーハステッピングマシンであり、光とレーザー機器を使用して正確にウェーハとリトグラフを整列させます。内蔵の高速アライメントスコープと内部冷却ツールのような機能を備えたPRECISION/GCA 19は、高速で正確な生産のために設計されています。