中古 OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC #9180829 を販売中

OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VCは、高精度リソグラフィ用途向けの高度なウェーハステッパーです。それは紫外線露出の適用の範囲の優秀な結果を提供するように設計されています。最先端のユーザー制御ロジックシステムを備えた自動マシンベースのステッパーです。NIL-60-SS-UV-VCは、マシンのコンポーネントを収容する本体エンクロージャと統合されたタッチスクリーンインターフェイスで構成されています。電動ステッパー、2つのコンポーネントの相対位置を制御するための機械装置が含まれています。正確かつ再現性のある性能を実現するために設計されており、速度、方向、ステップの量を制御して最適な結果を得ることができます。ステッパーは、アプリケーションにマッチし、必要な速度、加速度、直線性、バックラッシュ、および精度を決定することができます。露出が行われるウェーハは、クローズドループ制御テーブルプラットフォーム上に配置され、正確な位置制御と安定したモーションコントロールを保証します。このプラットフォームには、手動のウェーハロックと、より良い精度のためのフォースフィードバック機構があります。テーブルはまた、小型および通常のウェハローディング用に設計されています。露出レーザーはOBDUCAT NIL-60-SS-UV-VCに取り付けられ、必要に応じて追加のレーザー光源を追加できます。NIL-60-SS-UV-VCにまた非常停止ボタンおよびドアの連結、紫外線ライトカーテン、レーザーの毛布、振動分離システム、再循環の水冷およびイオナイザーを含む多数の安全機能が、あります。また、冷温制御、調節可能な照明源、ステージ上の異物を検出するセンサー、および可聴および視覚アラームを備えています。OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VCはOBDUCAT TAIMソフトウェアと互換性があり、機械の遠隔操作を可能にします。アラームやその他の故障時にはシャットダウンが可能です。TAIMソフトウェアは、トラブルシューティング、データロギング、リアルタイム解析のためのリモート監視だけでなく、データを保存することもできます。NIL-60-SS-UV-VCは、UV、 Deep UV、 DUV、およびVUV露出、およびデュアル露出およびサブリゾリューション露出を含む幅広いリソグラフィ用途に使用できます。