中古 NIKON UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MX #293668732 を販売中

NIKON UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MXウェーハステッパーは、チップ製造やフォトリソグラフィ製造に使用されるデバイスです。NIKONが開発したステッパーは、シリコンウェーハに高解像度の画像を正確に投影し、基板の加工を支援します。このステッパーは、反射防止フィルム、ステンレス製ベース、エアベアリング装置で構成されたウェハステージを利用しています。このウェーハステージは、ウェーハ処理の基本的な要件である正確な動きと正確なアライメントを可能にします。このウェハステッパーで実装されたフォトリソグラフィープロセスは、通常はCADファイルで構成された電子的に生成されたパターンから始まり、次に一連のミラーと光学レンズで光を生成するために使用されます。光はシリコンウェーハに投影され、その後、化学物質の混合物によってパターンまたはエンブレムを形成するために処理されます。UV光を高精度かつタイムリーに基板に投影することで、複数の画像配置が可能になります。UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MXウェーハステッパーには、自動パターンマッチングシステム（APMS）も組み込まれています。このユニットは、ウェーハパターンを電子的に認識し、目的の基板レイアウトと正確に揃えるように設計されており、すべての画像が正しく配置されています。APMSマシンはまた、ユーザーが画像のサイズとスケールを調整することができます。さらに、ウェーハ加工プロセスの精度と精度を確保するために、このステッパーにはサブピクセルサイズの測定と、自動的にずれを検出して光の投影を調整する制御技術が含まれています。このステッパーには、最終製品が最適なウェーハ品質要件を満たしていることを保証する最適化機能も含まれています。この最適化機能には、オートエクスポージャー時間制御、オートハイトオフセット測定、均一な露出、均一なレジストプロファイルが含まれます。これらの機能はすべて、ウェーハコンポーネントの品質と一貫性を最大化することを目的としています。ニコンのUGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MXを常に正確に保つためには、定期的なメンテナンスを行う必要があります。この目的のために、メーカーは適切にツールを維持し、操作する方法に関する詳細なマニュアルを提供しています。このマニュアルには、ウェーハステージ、エアベアリングアセット、フォトリソグラフィープロセスの維持方法に関する説明が記載されています。UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MXウェーハステッパーは、チップ製造やフォトリソグラフィ製造に不可欠なツールとなっており、正確で再現性のあるパターン配置で有名です。APMSモデルと最適化機能が組み込まれているため、ユーザーはこのステッパーが使用ごとに可能な限り最高の結果をもたらすことができると確信できます。