中古 NIKON / TEL / TOKYO ELECTRON NSR 1755 G7A #9299967 を販売中

NIKON/TEL/TOKYO ELECTRON NSR 1755 G7Aは、半導体製造プロセスで使用される深紫外線（DUV）ステッパーです。その300mmステッピングプラットフォームは、ウェーハパターニングプロセスにおいて高いスループットと優れた均一性を提供するだけでなく、最先端の超微細な機能を製造するための高精度と解像度を提供します。このマシンは、単一のウエハ上に最大24層の高密度回路をパターン化することができます。TEL NSR 1755 G7Aは248nmの波長で動作可能で、最大21 × 24mm2の広いフィールドサイズを備えています。エリア全体のフィールドの均一性は非常に印象的で、アクチュエータレベルで0。3％以上に達します。これにより、マシン上で実行されるパターニングプロセス全体で非常に高いオーバーレイ精度が得られます。G7Aにはレイヤーマッピング用のステップとリピートシステムがあり、ウェーハにダイを配置する際に精密なアライメントが保証されます。また、露光時のエッジの歪みを最小限に抑えるための光学ディストーション補正器と、連続的なパフォーマンス最適化のためのローカルフォーカスモニタを内蔵しています。ステッパーには3つの計測システムが装備されており、重要な寸法（CD）値をすばやく検出し、潜在的なエラーを補償することができます。G7Aは信頼性が高く、大幅なメンテナンスを必要としません。これは、以前のモデルの10,500時間と比較して13,800時間の故障（MTBF）の間の平均時間を持ち、24時間で450ウェーハを処理できます。また、10〜28°Cの温度でもスムーズに動作し、相対湿度は60％以下です。NIKON NSR 1755 G7Aは、高精度と均一性を兼ね備え、次世代の重要なパターニングアプリケーションの製造に最適です。その高速スループット、優れた解像度、信頼性の高い性能により、半導体メーカーにとって優れた選択肢となります。