中古 NIKON SF155 #9309623 を販売中

NIKON SF155は、幅広い先進的なアプリケーションに精密なリソグラフィ処理機能を提供するために設計されたウェーハステッパーです。NIKON SF-155は、統合されたコンパクトなデザインで、最大限の統合で優れたパフォーマンスを提供します。さらに、装置の高度な光学および制御機能により、リソグラフィープロセスの各ステップを正確に実行し、可能な限り最良の結果を得ることができます。SF155の大きな特徴は、その先進的な光学系です。このシステムは、高度なウェーハステッピングユニット（WSS）を使用して、ステッパーのイメージング面を正確に制御します。WSSにより、すべてのイメージングパラメータが最適に調整され、最高の画像が作成されるようになります。さらに、SF-155はPatCam光学部品マシンを備えており、リソグラフィープロセスにさらされている間にウェーハの各層の特性を正確に測定します。NIKON SF155は、統合された柔軟な自動ワークフローツールも提供しています。このアセットにより、リソグラフィープロセスの各ステップを迅速かつ効率的に完了できるようになります。自動化されたワークフローモデルは、あらゆるプロセスやアプリケーションに対応するように設定でき、必要なステップだけが完了し、スループットの向上と廃棄量の削減につながります。NIKON SF-155のデュアルリニアステージデザインは、オーバーレイ精度を最小限に抑えます。この設計により、すべてのステージが同じ方向に移動し、ウェーハ上のイメージング面を整列させることができる1つのステージでの動きを最小限に抑えます。さらに、装置のデュアルリニアステージ設計により、x軸とy軸の移動が非常に効率的に可能になります。SF155は、要求の厳しいリソグラフィ用途向けに設計されており、その機能により、高度なプロセスに最適なシステムとなっています。ユニットの高度なイメージング機能、統合された自動化されたワークフローマシン、および堅牢なステージデザインはすべて協力して、リソグラフィープロセスの各ステップが正確かつ効率的に実行されるようにします。これにより、最良の画像を効率的かつ最小限の無駄なく作成できるようになります。