中古 NIKON SF155 #293668105 を販売中

NIKON SF155は、高精度で効率的で信頼性の高いウェーハステッパーです。正確で一貫した処理が必要な半導体メーカーに最適です。NIKON SF-155は、様々な先進技術を取り入れて自動運転を実現しながらも、生産工程を高度に制御できるようにしています。SF155は、優れた露出精度と再現性、最大解像度1。00 μ m、最大400mm/sの同時多軸スキャン速度を誇ります。さらに、± 1。0umのアライメント精度と最大128のショットプログラムを格納する機能を備えています。高度なスキャナシステムは、精密な線形および回転スキャンが可能であり、時間とリソースの両方の面で効率的です。また、SF-155には3軸オートフォーカス・システムが内蔵されており、露光プロセス中にフォーカスを継続的に調整し、ウェーハの各層が完全に焦点を合わせることができます。さらに、NIKON SF155は、高度なセルフサービス機能を提供することにより、手動介入の数を削減します。これらには、リアルタイムの監視と制御、統計的プロセス制御、および許容範囲管理が含まれます。NIKON SF-155は、優れた直線性と丸みのある高品質な画像を生成することができます。このデバイスの高度な最適化機能により、露出誤差がさらに低減され、レチクルが少なく高い歩留まりが得られます。SF155は、i-line DUV、 KrF、 ArF、 Hg He-Xeなどの光源を使用してさまざまな印刷オプションを提供し、ステッパーは複数のリソグラフィープロセスの特定の要件を満たすことができます。SF-155は、利用可能な最も先進的で信頼性の高いウェーハステッパーの1つです。その高度な技術と高効率性能により、ハイエンドで精密な半導体製造に最適なソリューションです。