中古 NIKON SF100 #9260320 を販売中

NIKON SF100は、半導体製造プロセスで使用される集積回路チップを作成するウェハステッパーです。ニコン株式会社が製造した、0。3ミクロン以上の解像度のウエハーのイメージングが可能です。オートフォーカス（AF）およびレーザーアシストフォーカス（LAF）機能により、ウェーハの画像を迅速かつ正確にキャプチャできます。NIKON SF-100は高度な光学系を採用し、精度を確保しています。ハイエンドの光学系には、5インチレンズを備えた4レンズユニットがあり、平面差を最小限に抑えることができ、より高精度なオートフォーカス機構を提供します。ビームを歪める収差を減らすための2つの光学系を備えており、より鮮明な画像と優れたパターニングにつながります。SF100はまた、XYZとレールステージの両方を組み込んだハイエンドステージシステムを備えています。XYZステージはウェーハの高精度なアライメントに使用され、レールステージはウェーハをシフトしてしわを検出することができます。また、ステージシステムを組み合わせることで低振動が可能となり、画像精度が向上します。SF100は、i-LineやKrFレーザーなど、幅広い露光源を提供しています。i-Lineソースは高解像度イメージングに適していますが、KrFソースは高いスループットを提供します。どちらのソースも露光時間の変化が大きく、イメージング中の解像度が向上します。さらに、このデバイスはほとんどのリソグラフィーフィルムと互換性があり、ユーザーは自分の要件に最適なフィルムを選択することができます。最後に、NIKON SF 100は高度な制御システムを備えており、ユーザーはデバイスをプログラムして、仕様に従って複雑な画像処理を行うことができます。また、NIKON SMIFシステムと組み合わせることで、ユーザーはプログラムを識別し、ウェーハ全体にレイアウトを作成することができます。これらのすべての機能により、SF-100は高品質の画像を高精度に配信することができます。