中古 NIKON SF100 #293621279 を販売中

NIKON SF100は、ニコン株式会社が半導体製造のために製造した、ウェーハの非接触リソグラフィを可能にする多段ステッパーです。このウェーハステッパーは、サブ65および45ナノメートル（nm）ノードの製造に最適化された、高精度の製造プロセスで使用するために設計されています。NIKON SF-100は、127mm （mm）の大型イメージプレーンを備えたデュアルステージ光学機器を備えており、ウェーハに投影される画像の収差を高精度かつ最小限に抑えることができます。また、独自の傾斜照明光源とニコンの高度な収差制御光学系を搭載し、リソグラフィ工程で発生する低次収差まで補正します。これにより、標準のフルフィールドイメージングプロセスだけでなく、フルモジュレーション動作ポイントを含む中央重複フィールドにも、正確で正確なアライメントが得られます。SF 100は、NIKON ESC （Exposure Stepping Control）メカニズムを使用して、複数の調整および制御されたステージモーションやカウンターステップなどの機能を備え、連続的に監視された動的なセンタリングアラインメントを介して迅速かつ正確なパターンアライメントを実現します。最大キャプチャレートは最大4フレーム/秒で、サイズ変更は無制限で、次の構造に入る前に1つのパスでデバイス構造を作成するための正確な露出制御を可能にします。また、フィールドの中心、バッチモード動作、イメージフォーマットスイッチングを検知できるビジョンツールを内蔵しており、多様な生産作業に対応する柔軟なツールとなっています。また、NIKON SF 100には安全・保護機能が搭載されており、製造中のステッパーやウェーハへの損傷を防ぎ、ウェーハステージの衝突防止やシャッターインターロックの全範囲を実現しています。さらに、シンプルで直感的なタッチパネルなどの便利な機能を備えたユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供し、操作を簡素化するための迅速かつ簡単な操作とわかりやすいアイコンを可能にします。SF-100は、高度なウェーハデバイスの高精度製造に理想的な選択肢であり、精度、精度、柔軟性のユニークな組み合わせを提供します。高度な機能と信頼性の高い設計により、SF100は現在および将来の最先端の生産プロセスに最適です。