中古 NIKON SF 130 #293829385 を販売中

NIKON SF 130は、半導体デバイス構造の製造に使用されるウェーハステッパーです。これは、幅広いイメージング作業を行うことができる高度なデバイスイメージング機器です。このウェーハステッパーは、優れたシステムパフォーマンス、高スループット、および稼働時間を提供します。次世代半導体デバイスの製造を開始するために設計されています。NIKON SF130には、優れたイメージング機能と、他の従来のローラーシステムに比べてイメージングを向上させるためのより高い被写界深度を提供する、自由形状の没入光学ユニットが装備されています。より大きな被写界深度は、ゴーストや乱視を減らし、精度と精度を向上させるのにも役立ちます。機械は運転速度を改善する高度の急速な露出のチャッキング用具が装備されています。また、レンズアセンブリと一体型レンズクリーニングアセットを備え、メンテナンスも容易に設計されています。SF 130は、高度な独自のビジョンベースのアライメントモデルで動作します。この装置は、迅速なアライメント更新を提供し、複数の画像を分析して、マスクがウェーハ上に正確に配置されていることを確認することができます。アライメントシステムはまた、ウェーハの位置を継続的に監視し、シフト時に自動補正することができます。これにより、エラーが軽減され、生産性が向上します。SF130はホストベースのソフトウェアユニットによって制御されます。このマシンは、ユーザーインターフェイス、診断、測定、イメージング、シミュレーション、データ収集、資産管理など、すべてのツール機能を統合しています。これは、高スループットと正確な結果に最適化された直感的なグラフィカルユーザーデザインを提供します。このモデルは、高性能パターンジェネレータと高速ビームコラムによって駆動され、1時間あたり最大500ウェハの速度で動作することができます。低ノイズと振動レベルで動作し、安定したプロセス環境を実現します。また、優れたFOUP-to-FOUP容量を備えているため、一度に最大1,000個のウェーハを処理できます。全体として、NIKON SF 130は優れたシステム性能、高スループット、および稼働時間を提供する高度なウェーハステッパーです。優れたビジョンベースのアライメントユニット、高速ビームコラム、高度な独自のビジョンベースのアライメントマシンにより、次世代の半導体デバイス製造を容易にするように設計されています。