中古 NIKON SF 130 #293814189 を販売中
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ID: 293814189
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
i-Line stepper, 12"
Loader chamber
Control rack
Temperature controller
Piezo
Slider
Power supply
Lamp house rack
Lamp cooling
Back side frame
Top chamber
Upper frame
Loader rail
Foup
Control panel
SEMES KSPIN12 Load module
HP DS10 Workstation
SR10MP 4IL2 Lens
HBO 5004 Laser
Process modules:
Light source
Alignment
Stage
No Framework (FW) Robot
No Reinforcement Learning (RL) Index robot
No Reinforcement Learning (RL) controller
No Reinforcement Learning (RL) Buffer robot
No Reinforcement Learning (RL) controller
No Blind YD
No XL-axis unit
No Morocco board
No R-Θ Robot
No Robot controller
No RL PRE1 Z-Axis motor
No RL PRE1 PRC Motor
No IU-DRV10M
2004 vintage.
NIKON SF 130は、半導体リソグラフィ市場のニーズに合わせて設計されたウェーハステッパーです。それは集積回路の製作で広く利用された高度の、高精度の生産用具です。フォトリソグラフィ、誘電層のパターニング、ナノインプリントなど幅広い用途に対応しています。NIKON SF130は、高解像度スキャンステージとフリーフォーム投影レンズを搭載し、180nmの解像度でウェーハ表面を正確にパターニングすることができます。マルチフィールドイメージングシステムを備えており、ウェーハ上で2〜3つの独立したフィールドを一度にスキャン/露出できます。さらに、複数のウェーハスタックを一度にステッパーからロードおよびアンロードすることができ、ウェーハ処理のスループットが大幅に向上します。SF 130は、複雑なパターンだけでなく、低歪みの接触や複雑な特徴を生成することができます。これは、単一のパスでウェーハを処理することができ、従来のウェーハスキャンツールよりも優れた性能とカバレッジを提供します。SF130の強力な画像処理機能は、マイクロパターニングのアプリケーションにも適しています。NIKON SF 130は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと、設定を処理するための多数のツールを提供する、使いやすさを念頭に設計されています。また、高度に特殊化されたアルゴリズムを備えた一連の画像処理EDUと、パターニングプロセスの精度を確保するための強力なリアルタイム制御システムを備えています。NIKON SF130は耐久材料から組み立てられ、それを非常に信頼でき、厳しい条件で働くことができるように企業の等級の部品が装備されています。すべてのNIKON SF 130は、製品の信頼性と頑丈さを確保するために厳格なテストと品質保証を受けています。SF 130は半導体業界で幅広い用途を有し、信頼性と効率の高い生産ツールです。それは優秀なパターン化能力、高精度および信頼できる生産を提供し、それを多くの適用のための上の選択にします。
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