中古 NIKON SF 130 #293814189 を販売中

NIKON SF 130
製造業者
NIKON
モデル
SF 130
ID: 293814189
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
i-Line stepper, 12" Loader chamber Control rack Temperature controller Piezo Slider Power supply Lamp house rack Lamp cooling Back side frame Top chamber Upper frame Loader rail Foup Control panel SEMES KSPIN12 Load module HP DS10 Workstation SR10MP 4IL2 Lens HBO 5004 Laser Process modules: Light source Alignment Stage No Framework (FW) Robot No Reinforcement Learning (RL) Index robot No Reinforcement Learning (RL) controller No Reinforcement Learning (RL) Buffer robot No Reinforcement Learning (RL) controller No Blind YD No XL-axis unit No Morocco board No R-Θ Robot No Robot controller No RL PRE1 Z-Axis motor No RL PRE1 PRC Motor No IU-DRV10M 2004 vintage.
NIKON SF 130は、半導体リソグラフィ市場のニーズに合わせて設計されたウェーハステッパーです。それは集積回路の製作で広く利用された高度の、高精度の生産用具です。フォトリソグラフィ、誘電層のパターニング、ナノインプリントなど幅広い用途に対応しています。NIKON SF130は、高解像度スキャンステージとフリーフォーム投影レンズを搭載し、180nmの解像度でウェーハ表面を正確にパターニングすることができます。マルチフィールドイメージングシステムを備えており、ウェーハ上で2〜3つの独立したフィールドを一度にスキャン/露出できます。さらに、複数のウェーハスタックを一度にステッパーからロードおよびアンロードすることができ、ウェーハ処理のスループットが大幅に向上します。SF 130は、複雑なパターンだけでなく、低歪みの接触や複雑な特徴を生成することができます。これは、単一のパスでウェーハを処理することができ、従来のウェーハスキャンツールよりも優れた性能とカバレッジを提供します。SF130の強力な画像処理機能は、マイクロパターニングのアプリケーションにも適しています。NIKON SF 130は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと、設定を処理するための多数のツールを提供する、使いやすさを念頭に設計されています。また、高度に特殊化されたアルゴリズムを備えた一連の画像処理EDUと、パターニングプロセスの精度を確保するための強力なリアルタイム制御システムを備えています。NIKON SF130は耐久材料から組み立てられ、それを非常に信頼でき、厳しい条件で働くことができるように企業の等級の部品が装備されています。すべてのNIKON SF 130は、製品の信頼性と頑丈さを確保するために厳格なテストと品質保証を受けています。SF 130は半導体業界で幅広い用途を有し、信頼性と効率の高い生産ツールです。それは優秀なパターン化能力、高精度および信頼できる生産を提供し、それを多くの適用のための上の選択にします。
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