中古 NIKON S620D #293670592 を販売中

NIKON S620D装置は、マイクロスケール上に集積デバイスや回路を作成するために設計されたリソグラフィ用の高度なウェハステッパーです。高精度かつ高スループットのリソグラフィに適しており、半導体、光デバイス、MEMS、液晶などの技術分野でデバイスや製品の製造に一般的に使用されています。S620Dシステムは、直接露光の場合は0。1micron、間接露光の場合は1micronの最大分解能を備えています。これは、ハイレベルとローレベルの照明技術だけでなく、従来のステッパー/スキャナーハードウェアを備えています。イメージフィールドは8インチまたは12インチで、ステップアンドリピート機能を使用して大きなフィールドを処理できます。単位は調節可能な線量およびdefocus制御および自動露出の監視を含んでいます。NIKON S620Dには、加工中のウェーハの変位を自動で補正する高度な自動アライメント機能も搭載しています。S620Dは、複数のレイヤーを1つのシーケンスでマッピングする必要があるアプリケーションに最適化された3次元マッピング機能を備えています。このマシンは高コントラスト抵抗で動作し、アライメントエラーを最小限に抑えるように設計されています。NIKON S620Dによって生成される画質は一貫して高いため、拒絶反応が少なく正確な結果が得られます。S620Dを使用する場合、露出段階の空気軸受は段階を渡るウェーハの超精密で、滑らかな動きを可能にします。Thewツールは、低消費電力でメンテナンス要件が低いため、ウェーハ製造環境に簡単に統合できます。また、NIKON S620Dは、溶剤廃棄物の削減や建設に使用されるリサイクル可能な材料により、環境にやさしい資産です。S620Dは、幅広いソフトウェアパッケージとの互換性によってさらに強化されています。ソフトウェアは手動および自動化されたプログラミングを提供します；パラメータは、各アプリケーションの特定の要件に合わせて調整することができます。この多様なソフトウェアオプションにより、このステッパーは、リソグラフィに携わる人々のための非常に汎用性の高いツールになります。全体的に、NIKON S620Dウェーハステッパーは、リソグラフィの信頼性が高く正確なモデルを手頃な価格で提供します。その多くの機能、低消費電力、環境に優しい、および互換性のあるソフトウェアパッケージの広い範囲は、それがリソグラフィの分野の人々のための最良の選択になります。