中古 NIKON S62 #9169706 を販売中

NIKON S62ウェーハステッパーは、半導体材料に微細構造化された表面を作成し、複製するために使用される精密イメージングおよびリソグラフィ装置です。2nm以下の精度で幅広いウェーハ素材に精密な表面を作り出すことができる高分解能機です。このシステムは、高度な位相シフトと厳格な2Dイメージングを組み合わせたデュアルアライメントとイメージング機能を備えており、高品質のイメージングとリソグラフィのニーズに対応しています。内蔵のアライメントユニットは、最大10nmの精度で迅速なアライメントとレチクル配置を可能にし、イメージングマシンは最適化されたイメージング品質とパフォーマンスのための可変的な数値開口を提供します。S62は、マッハ2。3ダイレクトライティングレーザーツールを使用して、リソグラフィープロセスを支援します。この資産には、ニーズに応じて、一体または個別に使用できる2つのレーザーが含まれています。このモデルは、200nmの再現可能な位置決め精度と0。5 μ mの空間分解能を備えており、正確かつ正確なリソグラフィ操作を可能にします。また、データ収集制御システムを内蔵しており、リソグラフィー処理のリアルタイム監視と、生の画像やリソグラフィデータを保存するためのデータ管理ユニットを備えています。また、NIKON S62は、ウェーハステッピングプログラミングを簡素化し、複雑なパターンの加工に伴うコストを削減するために、完全に自動化された設計からウェーハワークフローを提供しています。Nikons S62は、半導体用途に最適な精密表面を提供する高品質のイメージングおよびリソグラフィ装置です。このツールは、デュアルアライメントとイメージング機能、レーザーアセット、データ取得と制御モデル、および自動設計からウェーハワークフローを組み合わせることで、ウェーハステッパー技術の分野で強力なマシンとなります。