中古 NIKON S205 #293667241 を販売中

NIKON S205は、半導体チップ製造に使用される精密ステッパーです。それは2550mm x 2800mm x 2800mmを測定し、4,000kgに重量を量る大きい装置です。複雑なチップの高精度なパターンを極めて微細なディテールで提供するように設計されています。NIKON S 205には、200mmプロジェクションレンズを内蔵したスキャンヘッドと、個別制御された容量連結型マスクステージが2つ装備されています。これにより、高解像度のブルーライトイルミネーションと位相シフトマスクを使用して、チップを迅速かつ正確にパターン化できます。S205は65nmから250nmの特徴および欠陥の修理への破片を使用でき、いろいろなフォトレジストおよび基質と働くことができます。マスクとウェーハをそれぞれの露出前に相対的に正確に配置するための自動光学アライメントシステムが組み込まれています。S 205には、汚染を低減し、歩留まりを改善する一連のチップ処理プロセスも装備されています。自動化された汚染防止システムとウェハハンドリングロボットアームを備えており、手動での処理を低減します。また、ウェーハの平坦性とトポグラフィ測定機能を自動化し、デバイスのパフォーマンスを最適化します。また、NIKON S205は環境モニタリングシステムを導入し、すべてのプロセス条件があらかじめ定義された範囲内に留まるようにしています。これにより、均一な結果が保証され、デバイス障害のリスクが最小限に抑えられます。全体的に、NIKON S 205は、高精度かつ高精度で幅広いチップに対応できる汎用性の高いウェーハステッパーです。マスクやウェーハアライメント、自動汚染防止、環境モニタリングなど、さまざまな機能を備えており、ガイドラインとチップの高精度な生産を保証します。