中古 NIKON S204B #9190274 を販売中

NIKON S204Bは、半導体デバイス製造のフォトリソグラフィープロセスで使用される全自動ステップおよびリピートウェーハステッパーです。露出面積が1x1mm〜4x4mmの5軸構成です。NIKON S 204 Bには、光学イメージングプロセスを自動化するフル機能のハードウェアおよびソフトウェアプラットフォームが含まれています。これは、ハロゲンランプと密閉された照明室を使用して、フォトリソグラフィで使用するために最大300nmの光を生成します。これにより、任意のステップサイズで高解像度のイメージングが可能になり、完成したチップの精度が向上します。ステッパーは、機械部品と光学部品の両方のおかげで、2ミクロンのトリプル繰り返し精度を持っています。ステッパーには、1.2NAレンズを備えた高性能1x減光システムが組み込まれており、ウェハ上でより明るくシャープな画像処理が可能です。標準から高度なカスタムウェーハ分析まで、さまざまなレチクルを搭載しています。イメージングプロセスを最適化するために、S204Bにはアライメント機能とキャリブレーション機能も含まれています。ユニークなアライメントシステムには、ウェーハエッジを検出して露出領域エラーを低減するオートフォーカス、および各チップを正確に見つけるオートロケータが含まれます。さらに、ウェーハの平坦度を検出するツールが付属しており、イメージングが発生する前にウェーハが均一であることを確認します。S 204 Bは、合理化された堅牢なイメージング技術により、現代の半導体産業のニーズを満たしています。直感的なユーザーインターフェイスにより、シームレスなプロセスオートメーションが可能になり、正確なイメージング機能により、比類のない生産性を実現します。このモデルは、プロセス開発と生産レベルの生産に最適であり、半導体リソグラフィにとって最も信頼性が高く費用対効果の高いソリューションの1つです。