中古 NIKON S204B #293824311 を販売中

NIKON S204Bは、半導体デバイスの製造に使用されるウェーハステッパーです。UV光により、前面にフォトマスクを配列した1枚のウエハを露出することができます。最先端の光学機器を搭載し、最大0。6 μ mの回路パターンと空間の高解像度イメージングを実現し、マスク作りやデバイス製作に最適です。NIKON S 204 Bには、迅速かつ制御された正確なアライメントを可能にする高度なレーザーアライナーが装備されています。レーザーアライナーを使用すると、露出ステップ中に一連の座標を入力して、フォトマスクをウェーハに正確に照準することができます。さらに、微細な制御、トルク、速度制御機能はすべて、信頼性の高い反復可能なプロセスに貢献します。S204Bには、Single BEAMとDual BEAMという2つのパターンイメージングシステムが装備されています。Single BEAMシステムは2つのUV光源で構成されており、それぞれに独自のパターン投影ユニットがあり、ユーザーはウェーハに投影されたパターンの位置を個別に調整することができます。デュアルビームマシンは4つの光源で構成されており、ウェーハに2つのパターンを同時に投影することができます。S 204 BにはSoftware Alignerも搭載されており、ユーザーはそれぞれのアプリケーションの要件を満たすためにウェーハ上のパターン配置を対話的に調整することができます。ソフトウェアアライナーは、マイクロ環境での仮想アライメントを可能にし、オペレータがウェーハに投影されたパターンの位置を微調整できます。Software Alignerは、ユーザーにさまざまなシミュレーションおよび最適化ツールを提供し、アライメントプロセスを迅速かつ効率的にします。NIKON S204Bは、露光プロセス全体においてウェーハを安全かつ正確に搬送する高度なウェーハハンドリングツールを搭載しています。アセットにはデュアルステージロボットアームが装備されており、ウェハの正確な積み下ろしが可能です。さらに、内蔵モデルは、最初の露出が完了すると、ウェーハを180度自動的に回転させます。NIKON S 204 Bは、ハイエンド半導体デバイスの製造に必要なすべてを提供する包括的なウェーハステッパー装置です。最先端の光学・パターン配置システムを搭載しており、最大0。6mまでの回路パターンと空間を高精度にイメージングし、ウェーハを安全かつ正確に搬送するための信頼性の高いウェーハハンドリングシステムを実現しています。