中古 NIKON S204B #293823357 を販売中

NIKON S204Bは、集積回路の製造に使用される半導体リソグラフィーツールの一種であるウェハステッパーです。ニコンが1988年に開発したリソグラフィーツールは、光学部品と電気機械部品の両方を統合し、半導体製造環境における集積回路マスクを作成します。ステッパーの主な目的は、チップ製造に不可欠な感光性ウェーハにフォトマスクのパターンを正確に露出させることです。NIKON S 204 Bは、紫外線を露光源に使用し、効率的かつ精密な半導体製造に特化した機能を備えています。数値減少レンズを搭載し、300mmウェーハの微細なパターンを最大10倍の低減率で投影することができ、当時のウェーハステッパーの中でも有数の性能を発揮します。このツールの光源は、さまざまな回路設計のために、任意の瞬間にウェーハ全体の光の露出をカスタマイズするために調整することができます。また、ステッパーの露出領域内S204Bウェーハを移動させる高精度の浮動ステージを搭載し、最適なデバイス製作のための高精度なアライメントを実現しています。Optics Block AssemblyにはExposure Opticsサブシステムがあり、レンズ、ミラー、クォーツフィルターなどの照明システムが内蔵されています。S 204 Bの光学サブシステムは、その超精密なパターンを生成することができますが、その高度なミラーの合理化メカニズムは、大きなステップよりも大幅に高いスループットを提供します。操作面では、NIKON S204Bは複雑で使いやすいマイクロプロセッサベースのオペレーティングシステムを搭載しています。この洗練されたOSにより、周辺検査機能を自律的なフォトリソグラフィープロセスに統合することができます。NIKON S 204 Bは、世界中の半導体メーカーが使用する、費用対効果の高い省スペースのリソグラフィーツールです。その信頼性、所有コストの低さ、非常に細かい複雑な回路パターンを生成する能力で有名です。生産設定では、S204Bは最大10nmの解像度で、1時間あたり最大10ウェーハを生成することができます。非常に高精度でメンテナンス性が高く、運用コストが比較的低いため、中型チップ生産ラインに最適です。