中古 NIKON S204 #293814741 を販売中

NIKON S204は、マイクロエレクトロニクス製造アプリケーションのチップパターニング用に設計された高度に自動化されたウェーハステッパーです。高精度で高速なXYステージで構築されており、あらゆるパターニングアプリケーションに対応できます。NIKON S 204は0。02ミクロンの分解能を有しており、様々な地形ニーズに対応した高精度・高精度な動作が可能です。S204は、高精度および高スループットのリソグラフィ用途に特化して設計されています。複数のフィールドサイズ、高度な収差補正、自動画像登録など、最先端の機能を選択できます。また、スムーズで再現性のある信頼性の高いリソグラフィーパターニングを保証する高度なステージデザインを備えています。S 204には統合されたアライメントモニターも搭載されており、オペレータはプリントパターンのフィーチャーのアライメントをリアルタイムで確認できます。このモニターは、高NAレンズを使用する際のパターンの整合性を確保するのに役立ち、生産されたウェーハの最適化にも役立ちます。また、オートフォーカス方式を採用しており、異なる層深度に迅速に集中し、製造効率を最大限に高めることができます。NIKON S204には、オートフォーカスレンズ、大気圧コントローラ、レーザー変位ユニットなど、独自の周辺機器も付属しています。NIKON S 204は、性能面では毎時250万回以上の露出を可能にし、精度を犠牲にすることなく高品質なパターンを素早く生成することができます。さらに、総オーバーヘッド時間が2。5分未満であるため、全体的なスループットが向上し、再作業時間が短縮されます。S204はまた優秀な反復性を特色にし、それを一貫して正確な、反復可能な結果を作り出すことを可能にします。全体として、S 204はチップパターニング用途向けに設計された高度で高精度なウェーハステッパーです。優れた精度、解像度、スループットを提供し、生産コストの削減、歩留まりの向上、納期の短縮を実現します。