中古 NIKON S203 #293814738 を販売中

NIKON S203は、幅広い半導体製造プロセスに対応する高度なウェーハステッパーです。薄膜成膜、イオン注入、エッチングなどのプロセスに対応するよう設計されています。S203は、広い視野、レーザーアライメント、高い再現性を提供します。NIKON S203は、トリプルニット光学系による視野の広い先進的なデザインを有しています。4インチウエハを最大4台まで同時に収容できる広い視野を備えています。また、レーザーアライメントシステムS203搭載しており、ステージを自動調整してウェーハ表面の厳しい公差を確保します。NIKON S203は、プラットフォーム上のウェーハ配置において0。3umの高い再現性を有しています。この精度は、複数の操作後も維持されます。プラットフォームはまた、セトリング中にサーボモータによって引き起こされるより低い振動を含む、ドリフトと高速セトリング時間の大きなフィールドを提供しています。これにより、スループットの一貫性が向上し、オペレーションの再現性が向上します。S203にはウェーハ認識用のCCDがあり、作業の効率とスループットを向上させます。また、最大200個のウェーハを収容できる大型ウェーハマガジンもあります。これにより、ウェーハの同時ロードとアンロードが可能になり、ユーザーの介入なしにステッパーが動作するようになります。また、NIKON S203は、最大20個のチャックを収容できる大型チャックプールを備えています。これにより、異なるチャック間の正確なチャック配置と画像アライメントが可能になり、正確で一貫したパターニング結果が保証されます。最後に、S203には、ステッパーを不正アクセスから保護するように設計された高度な制御システムとセキュリティ機能が装備されています。NIKON S203には柔軟なソフトウェアインターフェイスがあり、既存の生産システムに統合することができます。全体として、S203は、半導体製造の幅広い操作のための高度で信頼性の高いウェーハステッパーです。