中古 NIKON S202 #293825805 を販売中

NIKON S202は、半導体マスクを正確に印刷、パターン化、検査するために設計されたウェハステッパーです。高いレベルのスループットでも、高解像度、高精度、均一性、およびラインエッジ品質を表示することができます。S202にはデュアル4度スキャナと150mmステッパーがあり、高速スキャンが可能です。これにより、迅速なウェーハスループットと優れたラインとエッジ品質を実現します。ステッパーには、+/-2度の傾き範囲で翻訳、スキャン、回転機能をサポートするメインステージを含む3段階のモーションコントロールが装備されています。NIKON S202は、直径200mmまでの水晶マスクと0。2ミクロンの水晶層を用いたウェーハの印刷・検査が可能です。ステッパーには、マスク印刷および検査用の12個の固定電界高精度レンズと、精密幾何学的欠陥測定用の2つの異なる検査モードがあります。S202は、Quartz CDとMetal CDレイヤーの両方に自動アライメントシステムを備えています。また、配置とアライメントにはさまざまな制限があり、CDの測定と欠陥検出を自動化できます。ステッパーには高度なクリーンルーム管理システムがあり、空気清浄度と粒子制御を維持し、優れた環境品質管理を提供します。NIKON S202は汎用性の高いウェーハステッパーです。S202は、マスク回折発生器と回折格子システムと共に、高精度のパターンの印刷を可能にする多分解能機能を備えています。わずかな生産レベルでも優れたラインエッジ品質とストライプを示すことができます。NIKON S202は、大量の半導体製造に最適です。ステッパーは、優れた動作温度安定性、複数のアライメントおよび分解能機能、優れたラインエッジ品質を備えており、最大のパフォーマンスと品質の向上を可能にします。スピード、品質、解像度に優れたS202は、ウェーハステッパーに最適です。