中古 NIKON S202 #293825804 を販売中

NIKON S202
製造業者
NIKON
モデル
S202
ID: 293825804
Scanner Renesas upside: +8K/m tool DUV (Non-Critical, 4X Scanner, KrF) Host station.
NIKON S202は、高度なイメージングおよび精密機器の大手メーカーである株式会社ニコンが開発したウェーハステッパーです。集積回路(IC)の製造に使用されるフォトリソグラフィなどの半導体製造プロセスに使用するために設計されています。ステッパーは、さまざまな光学部品を備えた6フィールドの光学機器を備えており、さまざまな角度からの複数の露出を可能にし、パターン精度を再現可能にします。照明システムは、露出フィールドサイズが0。75〜8。0mmの6位置ズームレンズを備えており、露出時間は3秒から10秒まで選択できます。また、ウェーハとマスクの最適なアライメントを実現する高精度ステージデバイスを備えた自動アライメントユニットを搭載しています。S202はまた、優れた可視性を提供するカラフルなLCDモニターと、ユーザーフレンドリーな操作パネルを備えています。ステッパーには、温度検出や数種類の気流センサーなどの環境センサーを搭載し、安定した動作環境を提供します。この機械にまた自動口径測定および監視用具があり、最高の正確さの光学分野の整列の急速で、精密な微調整をいつでも提供します。データ伝送は、外部データシステムと容易に統合するためにギガビットイーサネットとUSB接続を使用して行われます。ステッパーにまた抵抗表面の粒子、異物または他の欠陥の存在を検出できる出力欠陥センサーとして知られている特別な特徴があります。さらに、NIKON S202には冷却アセットが内蔵されており、露出時間と消費電力を大幅に削減し、露出時に発生する高温を制御します。ステッパーも軽量で、小型のウェーハアライメントが可能なコンパクト設計で、プロトタイピング用途に最適です。ステッパーはまたデータ管理を提供するソフトウェアが装備されており、容易な操作および便利のためのタッチパネルのリモート・コントロールがあります。さらに、ジョブメモリストレージと自動マスクプレート交換機能を備え、生産効率を向上させます。全体として、S202は、フォトリソグラフィープロセスでの使用に理想的なさまざまな機能を備えたよく設計されたウェーハステッパーです。高精度、高効率、ユーザーフレンドリーなため、さまざまなIC加工作業に最適です。
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