中古 NIKON S202 #293825803 を販売中
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ID: 293825803
Scanner
Renesas upside: +8K/m tool
DUV (Non-Critical, 4X Scanner, KrF)
Host station.
NIKON S202は、半導体業界で幅広い用途を提供し、優れた収益性を提供するステッパーです。この機器は、横方向のフィールドデバイスと厳格な設計ルールで優れた画質を提供します。S202は完全に自動化されたアライメントソリューションを備えており、システムの簡単な操作とより良いアライメント精度を可能にします。NIKON S202は、高精度mxSEMレンズにより、高度なオートフォーカスとオーバーラップ制御を提供します。この組み合わせにより、アライメント時間が劇的に短縮され、歩留まりが向上します。このユニットはまた、均一な露光と高コントラストYAGイメージングマシンを実現する軸外照明を備えています。これにより、アライメントプロセスがさらに簡素化され、露出前に画像が正しくフォーカスされるようになります。さらに、このツールはSextupole Markingを備えており、高解像度の小さな孤立した機能を正確に再現できます。高度なステッチツールとピボット補正技術により、エクスポージャー間でウェーハを移動することなく、シームレスな結果を得ることができます。この高度な技術により、歪みレベルが低く、登録障害が低減されます。NIKON S202is、高度なオーバーレイ機能と高いスループット設定により、最高のステッパー生産性を提供することができます。このマシンは、スループットを最適化し、歩留まりを改善することを可能にするステップとリピート、スキャン、およびレチクルのアライメントソリューションを提供します。さらに、このツールは、クラス最高のアライメント精度により、製品の歩留まりを改善し、廃棄物を削減するように設計されています。全体として、S202は優れた画質と製品歩留まりを保証する高度なウェーハステッパーです。高度なアライメントソリューション、Sextupole Marking、オフアクシスイルミネーション、ハイスループット設定を備えており、ユーザーに最高のステッパー生産性を提供します。NIKON S202は、優れた画質とオーバーレイ精度により、半導体デバイスの加工に最適です。
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