中古 NIKON R2205HMF #293664653 を販売中

NIKON R2205HMFは、高度なリソグラフィ用途向けに設計された高性能ウェーハステッパー装置です。このシステムには、高度なリソグラフィーコントローラ、インテリジェントスキャンアライナー、4軸ステージ、および高度なスキャン露出ユニットが含まれています。ウェーハ、劣化マスク、有機フィルムなど様々な基板上で、高いスループット、高コントラスト、高分解能を実現しています。高度なリソグラフィーコントローラは、反復可能で正確な露出制御を提供し、1つのウエハに複数のパターンを再構築することができ、広域デバイスに最適です。これは、ウェーハごとに複数のサイトからの機能の高精度、非破壊的なステッチをサポートしています。インテリジェントスキャンアライナーは、自動化されたアライメントプロセスでエッジシフトエラーを調整することができ、極端なフィーチャートポロジでも再現可能な露出精度を実現します。複数のウェーハのマクロレベルのステッチを1つの操作で処理することができます。4軸ステージは、超低力並列反応の方法論で高速で正確なモーションコントロールを提供するように設計されています。ウェーハ全体などの大型基板の正確な位置決めで動作します。高度なスキャン露光機は、パターン化された視野とさまざまなレチクルサイズのレーザースキャン励起を使用しています。単一の露出でフル解像度で単一のウェーハの露出が可能です。R2205HMFウェーハステッパーは、多種多様な基板の精密かつ迅速な生産のために設計されています。高スループット、高コントラスト、高解像度の結果を提供し、広い領域から超広い領域の超微細な機能を実現します。その強力な機能は、高度なリソグラフィ用途に最適です。