中古 NIKON R2205HDIS #293664652 を販売中

NIKON R2205HDISウェーハステッパーは、高度な半導体デバイス処理のための柔軟で信頼性の高いリソグラフィ装置です。MEMSやハイアスペクト比など、量産から微細工程まで幅広い用途に適しています。NIKONの実績あるiライン最適光学技術をベースに、優れたオーバーレイ精度、解像度、層間アライメントを組み合わせ、優れた製品歩留まりを実現しています。R2205HDISウェーハステッパーは、ウェーハ、マスク、その他のシリコン部品など、さまざまな基板で高品質な結果を出すことができます。豊富な機能を備え、8インチ、12インチ、200mmウェーハの加工が可能です。ステッパーには、プログラム可能なスキャン格子を使用して、露出中にさまざまなレベルとサイズを配置する高精度のステージが含まれています。ステッパーの水晶ガラス光学系は、高い焦点深度で優れた画質と解像度を提供するように設計されています。また、NIKON R2205HDISはプレアライナー、ノズルチェンジャー、MOVIDRIVEを搭載し、多彩な生産性を実現しています。このシステムには、光学ユニットの改良、再現性の高いレーザーアライメント設定、フォーカス補正など、パフォーマンスを向上させるための多くの追加機能があります。また、マスク作り、レチクルアライメント、レーザーアブレーション、露出など、さまざまな機能を実行することができます。完全に自動化されたセットアップにより、操作は非常に効率的でユーザーフレンドリーです。また、自動化されたアライメントツールと、歩留まりを最大化する自動ウェーハ交換を備えています。Nikon独自のソフトウェアを統合することで、イメージング結果の精度をさらに向上させ、最適な解像度と均一性を確保するためのイメージングパラメータを微調整できます。このアセットにはオートフォーカス機能も搭載されており、人間が介入することなく、あらゆるウェーハの焦点にレンズを調整することができます。全体として、R2205HDIS Wafer Stepperは、優れた結果をもたらす豊富な機能を備えた高性能モデルです。その特徴の範囲はそれを大量生産、良いプロセスおよび他の多数の適用のための理想的な選択にします。