中古 NIKON R2205HA #293664649 を販売中

NIKON R2205HAはウェーハステッパーです。これは、優れたイメージング制御と精度を提供するためにF2レーザーと同期スキャンシステム（SSS）技術を利用した完全なフィールドステッパー機器です。このユニットは、ロジック、メモリ、特にファインラインデバイスなどの半導体生産アプリケーションにおける光学系リソグラフィ用に設計されています。これは、製造されているデバイスの最高の忠実度を確保するために、光学アライメントとフォーカス機能の広い範囲を提供しています。R2205HAステッパーは、露出プロセスを正確に制御するためにデュアルスクリプトスキャンマシンを使用します。このツールは、パターンデータの変調、タイミング、およびエリアスキャンの組み合わせにより、露出プロセスを正確に制御するように設計されています。これにより、ステッパーは、生成されるデバイスごとに非常に正確なフォーカス、解像度、オーバーレイパラメータを生成することができます。NIKON R2205HAは、5 「x7」視野を持つ25ナノメートル分解能を備えています。1回の露出で数百万の機能をパターン化でき、ショット時間は0。075秒と速くなります。また、10分の1のナノメートルまでの露光精度も非常に安定しています。ステッパーは、シリコンウェーハ、ガラスプレート、石英基板、その他の材料と互換性があります。さらに、R2205HAは高度で柔軟に強化された高速スキャン（FEHS）アセットも備えています。このモデルは装置のための独特に制御されたレーザー源を提供します。このレーザービームのサイズとスポットサイズを小さくすることで、機能の露出速度が向上します。NIKON R2205HAには様々なソフトウェア機能が搭載されています。例えば、オンザフライ計算と露光パラメータの最適化を実行するための統合された数学精密ツール（MPT）システムを備えています。また、簡単な処理のために保存してリコールする露出のライブラリを生成することもできます。このステッパーには、エッジフィッティング、登録ズーム、デフォーカススキャンなど、数多くの精密自動アライメント機能も搭載しています。全体的R2205HA、ウェーハステッパーは、優れた画像忠実度と精度を作り出すことができる洗練されたユニットです。その多数の機能は、ユーザーに最大限のリソグラフィ制御と精度を提供します。このマシンは、最高レベルの制御と精度を必要とするあらゆるリソグラフィーアプリケーションで使用するように設計されています。さまざまな材料に対応し、最先端の半導体製造プロセスに最適なオプションです。