中古 NIKON PL-2 #293659411 を販売中

NIKON PL-2ウェーハステッパーは、半導体ウェーハにマイクロサーキットを印刷するために使用される8インチのウェーハアライメントステッパーです。最高レベルのアライメント精度と卓越した画質を提供し、優れたデバイス製造を実現します。PL-2は、高度な光学工学技術を駆使して高画質のイメージングを実現し、さまざまな背景色とレベルで焦点を当て、均一に照らされた画像を提供します。ステッパー操作時のウェーハの損傷を最小限に抑え、高精度なエンジニアリングにより、高スループットプロセスを実現します。受賞歴のあるNIKON PL-2ウェーハステッパーには、アライメント精度の高い再現性と生産スループットの向上を目的としたダブルスイングアームマウントメソッド（DSAM）が搭載されています。DSAMシステムは、優れた部品精度を持つ人間工学に基づいたオーバーヘッドアームと、調整可能なジョイントを備えた精密なベースレベルアームで構成されています。精密な3軸モーションコントロール、高解像度光学イメージング、ウエハチップの自動アライメントを組み合わせ、高精度なオーバーレイアライメント操作を実現します。PL-2ウェーハステッパーは、高速で正確かつ容易に動作するウェーハアライメントのために、Reflex Alignment System （RAS）を使用しています。ステッパー性能をさらに向上させるためのイントラウェーハロボットと、フルフィールドスキャンとアライメントのための視野を横切るダイレクトドライブロボットアクチュエータを備えています。また、RASは二重露光に優れた結果をもたらし、重要なプロセスレイヤーに対して最大± 3 μ mの直接オーバーレイ精度を実現します。NIKON PL-2ウェーハステッパーは、ファインラインイメージングアプリケーションでトランジスタおよびコンデンサレベルのデバイスを製造することができます。高速および高精度のジョブに対応しており、解像度は最大0。25 μ m、機能サイズは6 μ mまでです。また、紫外線から長波赤外線まで、さまざまな波長のアプリケーションに対応するための幅広い露光波長カラムを提供します。PL-2ウェーハステッパーは、リアルタイムのプロセスステータスとパフォーマンスデータを表示できる画面上のプロセス制御機能を備えた高度な監視機能を提供します。このシステムはまた、さまざまな予防メンテナンスプログラムで長期的なメンテナンスと信頼性を提供します。さらに、環境設計は、ほこりのないチャンバーと、狭いスペースでの効果的な使用のための最小限のフットプリントを備えています。