中古 NIKON PL-2 #293657667 を販売中

NIKON PL-2は、NIKONが開発した最先端の微細加工プロセス設計・実装技術を搭載した高度なリソグラフィーステッパーです。ステッパーは、高度な機器構成により、さまざまな複雑なリソグラフィープロセスに使用できます。PL-2は精密イメージング用に設計されており、重大寸法（CD）の厳しい耐性のための困難な要件に対処するために、デュアルトリプルスキャンモーションシステムや低い収差光学などのユニークな特性を備えています。デュアルトリプルスキャンは、回路パターンを正確に配置するための2段階のスキャンモーションユニットを提供し、複数のスタンドアロンデバイスを一貫した露出品質で作成できます。ステッパーにはダイレクトイメージングプロジェクションマシンがあり、高エネルギーのパルスライトを使用してシリコンウェハにフォトマスクパターンを配置することができます。この機能により、ステッパーはデバイス設計に必要な非常に詳細なラインとスペースパターンを生成することができます。このような微細な構造をサポートするために、NIKON PL-2は先進300-kW高出力レーザー源も提供しています。PL-2は性能および精密のために設計されています。モータツールと低ノイズドライブ設計により、スムーズな加速と減速が可能で、安定した正確なパターン操作が可能です。また、高精度で低発熱の軸受設計により、より静かな動作、精度の向上、粒子の放出による汚染の低減を実現しています。NIKON PL-2は、高効率な集塵アセットも搭載しています。敏感なケイ素の表面の汚染を防ぐために、それは効率的に汚染粒子を捕獲し、ユーザーに優秀な汚染制御を提供するように設計されています。PL-2の高度なプロセッサとソフトウェアにより、正確さやパフォーマンスを犠牲にすることなく、完全に自動化されたプロセスを体験できます。ステッパーには直感的なユーザーフレンドリーなインターフェースがあり、より幅広いオーディエンスにユーザビリティを拡大します。NIKON PL-2は、高度な内部モデルアーキテクチャ、効率的な操作モード、および優れた性能を備えた強力なウェーハステッパーです。その精密で低粒子の放出、低熱軸受け設計は安定した、正確なパターン操作を可能にします。デュアルトリプルスキャンモーション機器と強力なレーザーソースを介して、ユーザーはタイトなCDインストールで高解像度回路を達成することができます。