中古 NIKON P/N 4B991-151AN #148896 を販売中

NIKON P/N 4B991-151AN
ID: 148896
ウェーハサイズ: 8"
EX14D LC bellows unit, no PL purge, 8".
ニコンP/N 4B991-151ANは、精密リソグラフィ用途向けに設計されたウェーハステッパーです。その主なコンポーネントには、高精度の動作装置、ウェーハアライメント用の電動ウェーハステージ、およびイメージング用の光学システムがあります。このウェーハステッパーは、非常に小さく複雑な機能を高精度で生成することができます。NIKON P/N 4B991-151ANは、高度な水晶クロッキング技術を使用し、業界最高の精度を実現しています。これは、鮮明で鮮明な画像を作成するために不可欠です。クロックは0。25ナノ秒を±正確であり、露光時間を非常に小さい値に正確に分けることができます。露光時間はイメージングされる特徴パターンのサイズを決定するので、露光時間を正確に制御することが最高解像度を達成するための鍵です。ウェハステージは、画像精度においても重要な役割を果たします。露出する前にウェーハを目的の座標に整列させるために使用されます。高解像度モーターを使用して、ウェーハを必要な正確な位置に素早く正確に移動させます。これにより、パターンが正確に整列し、正しい位置に露出することが保証されます。光学ユニットは、可能な限り最高の性能を提供するように設計されています。これは、可能な限り最高の焦点と正しいイメージングを確保するために高度な自動焦点制御を利用しています。特別に設計されたレンズは、露光時間に関係なく画像が正確であるように、さまざまな種類の露光に対応するために使用されます。また、露出時間と小さな機能を向上させるための高い数値絞りを備えています。最後に、ニコンP/N 4B991-151ANは、優れた露出精度と安定性を提供します。露光時間が正確で一貫していることを確認するために、高精度のシャッターマシンが装備されています。このウェーハステッパーの多くの機能により、非常に小さな複雑な機能を非常に正確に生成することができます。そのため、ニコンP/N 4B991-151ANは精密リソグラフィ用途に最適です。
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