中古 NIKON Opto 200 #9389850 を販売中
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NIKON OPTO 200は、325nmの波長で動作するフォトリソグラフィ機器の一種であるウェハステッパーです。シリコン集積回路を含むウエハに回路パターンを伝達する半導体製造に使用されます。Opto 200は、フォトマスクをウェハ上に配置する前に、集積回路を互いに隔離する自動化システムです。マスクは透明シートで、集積回路要素のパターンをウェーハに転送することができます。ウェーハステッパーを操作すると、水銀キセノンランプからの光がフォトマスクの片側に光学的に集中します。マスクの反対側にあるレンズは、この光をウェーハに投影します。モーターを備えたウェーハステージは、マスクに関連してウェーハを平面で移動させることで、高精度な画像を得ることができます。NIKON OPTO 200は、優れた画質を保証する高度なイメージング技術を特長としています。それは完全な露出区域の一貫した焦点を保障するためにテレセントリック照明器具、またイメージング区域の上の照明の強度を均等に制御するためにフォトマスクに特に刻まれる位相転位マスクを利用します。可変スリット開口部ユニットにより、高解像度のイメージングも可能です。Opto 200のその他の高度な機能には、光収差を最小限に抑え、小さな要素サイズのイメージングを容易にするマルチアイリスダイヤフラムがあります。また、迷光を低減し、画像のコントラスト比を高める偏光技術を採用しています。NIKON OPTO 200は、その卓越した性能と精度で業界で認められている実績と信頼性の高いツールです。この資産は非常に安定しており、すべての日常業務において信頼性が高く、繰り返し可能な結果を得ることができます。優れたアライメントモデルを持ち、消費電力が非常に低く、デバイス全体の高精度な位置決めも可能です。全体として、Opto 200は高精度で信頼性の高い反復可能な結果を提供する優れたウェーハステッパーです。その高度なイメージング技術により、優れた画像を作成することができ、安定性と低消費電力により、自動フォトリソグラフィの業界標準のツールとなります。
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