中古 NIKON Opto 200 #9274315 を販売中
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NIKON OPTO 200は、プロセス制御と効率を向上させるために設計された最先端のウェーハステッパーです。この装置は1X〜5Xの光学リソグラフィ用に設計されており、より小型のウェーハイメージングに最適です。このマシンは、さまざまなアプリケーションのためのより小さなフィールドだけでなく、より大きなフィールドを収容することができます。Opto 200は、最大18mmのウェーハ厚に対応できる高解像度の垂直ステージを備えています。この垂直ステージは、高度なウェーハ処理のための高速かつ精度を提供します。大口径レンズと全自動ウェハハンドリングユニットを搭載し、高速かつ高精度な加工を実現しています。NIKON OPTO 200は、高度なアライメントと熱制御サブシステムにより、高精度かつ高精度です。この機械のパターニングの正確さは優秀なパターニングの質および再現性で起因する0。2ミクロンの順序にあります。さらに、このツールは、1時間あたり最大40ウェーハの高速でパターン化することができます。このアセットはまた、ユーザーがマシンを制御し、リアルタイムで画像を表示することができるユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを提供しています。このインターフェイスを通じて、ユーザーは20以上のプロセスを作成してモデルに保存することができます。さらに、同じサイズまたは形状の繰り返しプロセスを素早くプログラムすることができます。Opto 200は、6×6インチの書き込みフィールドサイズ、2軸グリッド、セルフアライメントオートスキャンを使用しているため、より小さく複雑なパターンを作成するのに最適です。また、屈折クロムオンガラスレンズを採用し、反復可能な耐熱レンズパターンと反復可能で透明なリソグラフィ露光を実現しています。動作機能に加えて、最大99個のウェーハを保持するための大容量カートリッジも備えています。このユニットは、フォトレジスト、溶剤、その他の材料で印刷することができ、様々な化学物質とも互換性があります。全体的に、NIKON OPTO 200は、より短い処理サイクルで正確で反復可能なパターンを望む人のための例外的なウェーハステッパーです。高度なアライメントと熱制御サブシステムにより、高い精度と再現性を実現します。さらに、そのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスは、機械を制御し、表示するための完全で使いやすいプラットフォームを提供します。
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