中古 NIKON NSR #293819949 を販売中

ニコンNSRは、多種多様なフォトマスクやレチクルの製造・修理の要求に応える優れた性能を評価されたウェハステッパーです。NAレンズは、高解像度、コントラスト感度、スループットを実現し、業界をリードしています。さらに、NSRには直感的な操作のためのシンプルでユーザーフレンドリーなコンソールが装備されており、実質的にあらゆるレチクルアプリケーションを完了するための幅広いフィールドサイズと露出設定を提供します。一般的なアプリケーションでは、NIKON NSRは4段階のスキャンレチクルイメージングプロセスを使用して動作します。これには、レチクル準備ステーション、光学顕微鏡アライメントステーション、露出ステーション、露出後検査ステーションが含まれます。準備ステーションは、レチクルの洗浄、コーティング、整列、検査に使用されます。アライメントステーションは、レチクルをイメージするレンズシステムと、最高の露出フィールドと場所を見つけるための自動アライメントシステムで構成されています。露出ステーションは、ウェーハを正確に配置してレチクルに露出させるために使用され、ダイナミックフォーカスコントロールにより最高の均一性を実現します。最後に、露出後の検査ステーションを使用して、露出したウェーハを迅速に現場で検査し、プロセスの品質を確認します。NSRウェハステッパーには、独自のHigh-NA Optics Configuration、 Modulated Depth of Focus （MOD）技術、立体（3D）登録など、露出精度と再現性のためのさまざまな技術が組み込まれており、表面積の精度と横方向のフィーチャーのオーバーレイの両方を優れた組み合わせが可能です。また、MODテクノロジーにより、解像度とスループット性能が向上します。さらに、NIKON NSRでは、プロセス依存の可変露光線量制御や基板ID自動認識など、高度な制御のためのいくつかのオプションを備えています。これらの特徴は、優れた生産グレードのレチクルプロセスをもたらし、業界をリードする精度と精度を実践者に提供します。NSRウェーハステッパーは、解像度の向上、パターンコントラストの改善、より広い視野での均一なパターン化を必要とする半導体デバイスメーカーに最適です。これにより、デバイスの歩留まりが改善され、パフォーマンスが向上します。すべての部品は統一されたシステムで一緒に働き、優秀な性能、収穫および生産の効率を提供します。