中古 NIKON NSR #293819945 を販売中

ニコンNSRは、集積回路の効率的な生産を可能にする先進的なウェーハステッパー装置です。これは、レチクル、モーションコントロールユニットと完全にコンピュータ制御光学マシンを組み合わせた完全なパターン生成システムです。NSRは0。25 NAの投影光学系とCCDカメラを利用して、膨大なIC生産のためのチップレベルの生産を達成することができます。このツールは、6度の自由度と1。5 μ mの精度を持つブーム型レチクル段を利用しています。レチクルステージは、製造プロセス全体にわたって高い精度と精度を確保するように設計されています。さらに、その位置制御資産と環境制御モデルは、安定した環境を確保し、生産サイクル中の騒音レベルを最小限に抑えます。また、NIKON Adjustment Method （NAD）を統合し、光学系の自動調整と機械の機械的バランスを確保しています。これにより、パターンイメージングの精度が向上します。NIKON NSRは、1つのイメージングサイクルで1つのウェーハに複数のチップをステップするなど、幅広いアプリケーションシナリオを可能にするNIKON Step-and-Repeat （NSR）ユニットも誇っています。機械の光学は2つの軸線、2つの軸線、1の収差の訂正器および1つの安全レンズから形成されます。この構成により、幅広い作業距離で優れたイメージング性能が保証されます。このツールには、露光時間の短縮と高い生産性で高速パターンイメージングを可能にする継続的なセル光学アセットも装備されています。NIKON NSRウェーハステッパーは、最適なプロセス統合のために設計されています。ハードウェアモデルチェックとアライメント、機械的および光学的チューニングを含む完全に自動化された生産サイクルを提供することができます。また、幅広いパターン補正アルゴリズムや、製造工程での露出設定の調整にも対応しています。NSRウェハステッパーは全体的に、高精度で生産性の高い効率的なIC生産サイクルを実現することができます。その革新的な機能により、チップレベルの生産に理想的な選択肢となり、半導体業界で優れた性能と品質を提供し続けています。