中古 NIKON NSR #293668735 を販売中

ニコンNSRは、半導体製造プロセスで使用されるウェーハステッパーです。このツールは、ニコンが開発したリソグラフィック投影ステッパーで、薄いウェーハやさらには35nmまでの小さな機能を正確に製造することができます。ステッパー制御を最適化し、安定したプラットフォームで動作します。このステッパーは、優れたパターンオーバーレイ、パターン配置精度と再現性を提供します。NSRは、統合された反射イメージングオプティクスと、優れたスループットで高分解能パターンを提供する広い数値開口を備えています。この機能により、マスクの欠陥を簡単かつ信頼性の高い方法で検出することができます。ステッパーは、高性能、長期安定性、およびパターニング要素のピクセル化に対応する調整可能なスポットサイズを提供します。NIKON NSRは、安定した性能と歩留まりを確保するために、照明器具とウェーハの距離を正確に測定できる自己較正ウェーハステージを備えています。また、製造工程におけるウェーハの正確な位置決めのための高効率モータ制御システムを備えています。ステッパーにはサーボ補正ユニットも組み込まれており、パターニング作業中に迅速な補正が可能です。また、20〜50 ˚Cの範囲でウェーハ温度を正確に制御できる精密ヒーターとサーモスタット制御を備えた高性能温度制御機を備えています。この機能はまた、メンテナンスを低減し、パターニングプロセスにおけるサーマルドリフトを排除します。さらに、ステッパーはSynchroScanツール技術を使用して、短時間で複数のウェーハを迅速に処理します。このアセットはまた、ユーザーが事前にパラメーター調整を設定し、ウェーハサイズを素早く調整できるようにすることで、優れた自動化サポートを提供します。全体的に、NIKON NSRは、再現性とプロセス制御に優れたパターン化されたマイクロストラクチャーを正確かつ迅速に製造できる高性能リソグラフィ投影ステッパーです。このツールは、非常に小さな部品やウェーハの製造に費用対効果の高い信頼性の高いソリューションを提供します。