中古 NIKON NSR #293601737 を販売中

製造業者
NIKON
モデル
NSR
ID: 293601737
Stepper.
NIKON NSRは、高度な半導体加工のミクロンレベルのリソグラフィ要件向けに設計されたフル機能のウェーハステッパーです。NSRは、高解像度イメージング、優れた性能、柔軟なハンドリングを提供する最先端のリソグラフィ機器です。システムは、高解像度、インプリント投影レンズ、高精度リニアモータ位置決めステージ、および高度な精密サーボ位置決めユニットからなる高度なアーキテクチャに基づいて構築されています。NIKON NSRウェハステッパーは、マルチステージイメージングオプティクスマシンを使用して、必要に応じてウェーハ上に非常に精密で定義された画像を作成することができます。工具の解像度は0。5nmで、0。05ミクロンの標準偏差でもその精度は驚異的です。これらの要因はすべて、NSRを最先端の半導体生産アプリケーションに最適な選択肢としています。NIKON NSRによる最適化されたウェーハ登録は、高度な計算エンジンによって保証され、露出中にマスクやウェーハに発生する熱膨張を自動的に補償します。これにより、ナノメートルレベルでも優れたイメージング性能を実現します。NSRはまた、クリックストップファインフォーカスノブ、ソフトウェア制御ステージコントロール、ダイレクトマルチ倍率機能、自動ゾーンオーバーラップ調整、反射基板用オートフォーカス機能、スループット向上のための画像ループなど、多くのユーザーフレンドリーな機能をサポートしています。これは、大量の生産アプリケーションと要求される高精度イメージング要件向けの完全なソリューションです。NIKON NSRの高度な電子追跡アセットは、スキャン段階間の小さな動きを補償する自動ドリフト制御を提供し、露出結果の優れた再現性を確保します。さらに、NSRは8,000mm/secの最大スキャン速度で、迅速かつ効率的に実行します。全体として、ニコンNSRは優れた性能、優れたイメージング品質、信頼性の高い再現性のある結果を提供します。NSRは、優れた機能を備えており、最先端のリソグラフィ用途に適した最先端のウェーハステッピングモデルとして高い評価を得ています。
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