中古 NIKON NSR-TFH i14 DL #9023488 を販売中

NIKON NSR-TFH i14 DLは、半導体デバイス製造のためのリソグラフィープロセスを実行するように設計されたウェハステッパーです。業界をリードする精度と精度で高精度なリソグラフィープロセスを提供するために構築されています。ニコンNSR TFH I14DLは、優れたリソグラフィ結果を提供するために役立ついくつかの高度な機能を備えています。その設計には、4軸ステップバリエーションスキャンと自動レベリング機能を備えた高度なレチクルステージが含まれており、高速で信頼性の高い動作を可能にします。また、高品位のイメージングフィールドフラットニングレンズを内蔵しており、イメージングフィールド全体の光均一性を向上させます。内蔵のバックサイドアライメントシステムにより、正確なウェーハアライメントとオーバーレイ精度が保証されます。NSR-TFH i14 DLは、解像度に優れた最大4マイクロメートルの画像を露出することができます。結果は非常に正確で、焦点の深さに優れています。最先端の光学系と照明システムにより、複雑な基板上の最小構造物の整列においても、このウェハステッパーが効果的になります。独自のDeep Ultraviolet （DUV）機能により、最も困難な機能でも画像を露出することができ、優れたコントラストを持つシャープな画像を提供します。NSR TFH I14DLの堅牢な構築により、基盤や周辺性能の劣化なしに、寿命を延ばすことができます。独自のRPCモデリング言語と複雑なソフトウェアインターフェースで構築されたウェハステッパーは、優れた柔軟性を提供し、さまざまな処理要件に応じてカスタマイズすることができます。ニコンNSR -TFH i14 DLは、複雑なリソグラフィープロセスでもサイクルタイムを短縮し、タイトなターンアラウンドタイムを満たすのに役立ちます。均一で正確なビームプロファイルとビームパワーを提供し、短いウエハ処理時間で優れたプロセス均一性を実現します。優れたハードウェアおよびソフトウェア機能により、所有コストを削減しながら、最高品質の基板を使用することができます。全体として、ニコンNSR TFH I14DLは、デバイス製造用に設計された強力で信頼性の高いウェーハステッパーです。その先進的な光学系、レチクルステージ、照明システムは、優れたビジュアルと高品質のリソグラフィ結果を可能にします。独自のRPCモデリング言語と複雑なソフトウェアインターフェースで構築されたウェハステッパーは、特定のアプリケーション要件に合わせて簡単に構成およびカスタマイズできます。