中古 NIKON NSR TFH i12 #9197998 を販売中

NIKON NSR TFH i12は、NIKONが半導体デバイスの製造を支援するために開発した最先端のウェーハステッパーです。ウェーハステッパーは、半導体産業における高精度かつ高生産性のリソグラフィ用途向けに設計されています。高解像度、高スループット、高アスペクト比リソグラフィー・ターゲットとの互換性を兼ね備えているため、さまざまなデバイス製造プロセスに最適です。NIKON NSR-TFHI12には、スキャンとステップとリピートの2つの操作モードがあります。スキャンモードでは、パターンを含むレチクルが順番にウェーハの表面をスキャンされます。パターンはスキャナーの各パスでウェーハ上に露出されます。ステップとリピートモードでは、ウェーハの多くの部分に単一の画像がイメージされます。その後、ウェーハは露出の間に移動され、連続的な露出はすべて所定の倍率とベースとベースの変位によって関連しています。NSR TFH i12は、パフォーマンスを最大限に引き出すために、さまざまな高度な機能を備えています。主な特徴の1つは、ウェーハオートローディングシステムであり、ウェーハのずれと誤りを軽減するように設計されています。ステッパーには、高精度、高精度のステージ検索、インラインスキャン、オンザフライのレチクル位置決めなど、さまざまなアライメントオプションがあり、最高のノッチ精度とスループットを保証します。また、最適なフォーカスと画像の均一性を達成するためのオートフォーカスとアスティグマティズム補正も提供しています。NSR-TFHI12の統合環境により、各ウエハーの高速かつ正確なプロセス制御が可能です。焦点最適化、高度な欠陥レビュー、技術レシピ主導のレシピなど、さまざまな露出技術が可能です。ステッパーはまた、デジタル顕微鏡を内蔵しており、オペレータは高倍率と解像度で各レチクルのパターンを検査することができます。最後に、NIKON NSR TFH i12はリアルタイム生産用に設計されており、コスト効率が高く効率的であるという課題を満たしています。また、既存の生産環境に簡単に統合することができ、時間を節約し、シームレスな生産を可能にします。NIKON NSR-TFHI12は、費用対効果の高いウェーハステッピングソリューションに最適です。