中古 NIKON NSR TFH EX14C #9356069 を販売中

NIKON NSR TFH EX14Cは、マイクロエレクトロニクス製造プロセスで使用される半導体リソグラフィーツールであるウェハステッパーです。特殊ウエハ上に様々な微小回路部品を製造するように設計されています。EX14Cは、テレセントリックレンズとスキャンアラインシステムを組み合わせた独自の光学アライメント装置を使用しています。このアライメントユニットは、ウェーハに微細な特徴のパターンを配置する際に優れた精度と再現性を提供します。このEX14Cは、14nmの微細な機能と、関連するマルチレベル構造を生成することができます。これは、NIKON独自のレンズシステムと、波長13nmの小さな光を生成することができる光源を使用して達成されています。最新の強化された照明光学系を活用することで、EX14Cは最高の画像忠実度でより複雑なパターンを生成することができます。ステッパー自体は堅牢な機械設計に基づいており、頑丈なブリッジ状の構造を備えており、優れた安定性と剛性を提供します。この剛性により、他の半導体リソグラフィーシステムと共通するように、パターンのずれの危険性なしに非常に高い解像度でも実行できます。EX14Cの可動ステージも非常に高速かつ正確であり、より高い精度で高いスループットを達成することができます。また、幅広いウエハに対応できるため、EX14Cは非常に柔軟性があります。ステッパーはまた、ユーザーフレンドリーで信頼性の高い革新的なウェーハハンドリングマシンを備えています。このユーザーフレンドリーな設計により、ウェーハの積み降ろしが容易になり、汚染や損傷も最小限に抑えられます。結論として、NIKON NSR TFHEX14Cは、半導体製造プロセスに適したラインリソグラフィーツールのトップです。精密光学系、堅牢な機械設計、フレキシブルウェーハハンドリングシステムを組み合わせることで、高性能アプリケーションに最適です。このEX14Cは、高解像度機能と高速スループットを備えており、半導体ウェーハ上に微細な機能を製造するための高効率で信頼性の高いツールです。