中古 NIKON NSR TFH EX14C #9276258 を販売中

NIKON NSR TFH EX14Cは、生産性の高い最先端の深紫外線ウェーハステッパーです。NIKON NSR TFHEX14Cは、高出力RI （Reflection Index）ソース（最大350W@248nm）を搭載し、洗練と再現性に優れたリソグラフィ性能を提供します。NSR TFH EX14Cには、ウェーハのX-Y位置を確認し、オンザフライに配置する高度な4クアドラントオートアライメント装置が装備されており、ウェーハの高精度なアライメントを実現しています。さらに、フルオートメーションシステムは、人的ミスを大幅に低減し、NSR TFHEX14Cを迅速に暴露することを可能にします。NIKON NSR TFH EX14Cは、投影レンズの収差を補正し、±3µmでの回折画像精度を維持する高度な画像処理システムを搭載しています。デバイスの微細なパターンを生成する際に7nm分解能と0.1µm精度が可能です。NIKON NSR TFHEX14Cのリフレックスソースユニットは、適切な光分散で光源をウェーハに向けることで、画像露出の均一性を向上させます。Reflex Source Machineは、ショット・ツー・ショットのバリエーションを低減し、レイアウトクラスタリングを大幅に低減するなど、優れた特性を備えています。高度な高NA光学系は、高NA光学系と比較して露光時間を2〜10倍に短縮し、露光時間を大幅に短縮します。被写界深度を20％向上させた優れたイメージング性能と、脱着パターンを正確に再現する光源フォーカス機能の向上を実現します。NSR TFH EX14Cの高度なPCB（プロセス制御ボード）により、露光ツールのスループットと汎用性が向上します。また、直感的で使いやすいグラフィックユーザーインターフェイスを内蔵しており、ユーザーフレンドリーなナビゲーションと管理機能により、オペレータは複数のプロセスを効率的に監視および制御できます。最後に、NSR TFHEX14Cには、潜在的な電源の問題を防ぐ優れた電源管理機能を提供するマスソースアセットが装備されています。これは非常に安定した露出性能に変換されます。ニコンNSR TFH EX14Cは、大量露光ウェハリソグラフィに最適なウェハステッパーです。高い生産性と優れたリソグラフィ性能を提供し、ヒューマンエラーを大幅に低減するように設計されています。