中古 NIKON NSR TFH 2 #9206223 を販売中

ニコンNSR TFH 2は、半導体の製造におけるリソグラフィ業務を行うために設計されたウェハステッパーです。ステップアンドリピートなフォトリソグラフィー装置を採用しており、高い精度と信頼性を実現しています。コンパクトな設計により、ウェーハステージの搬送と移動を可能にする自動トラックシステムを備えた小型フットプリントが可能です。TFH 2は、最大200mmまでの基板加工が可能で、可変的な数値開口部「NA」光学ユニットを備えています。これにより、マイクロおよびナノサイズの製造に適した優れた画像解像度を提供できます。NA性能の高い液体レンズマシン、紫外線超高出力レーザー光源、スキャン、パンニング、セミフィールドステッチなどの高速光学ムーブメントを活用し、スループットを向上させます。TFH 2には、融合イメージングツールと高度なアライメントシステムを搭載し、高精度なパターン配置を実現しています。また、ステッチの問題や基板から基板への反復可能な焦点面の調整を防ぐために、複数の露出やスキャンオーバーラップなどの機能も備えています。ステッパーは、メモリデバイス、ディスプレイデバイス、高性能アナログ、およびデジタルアプリケーションに適した高度なパターン分解能を備えています。さらに、TFH 2は、手作業による調整と調整の容易さを最小限に抑え、メンテナンス性を向上させるように設計されています。また、すべてのコンポーネントが適切に整列および校正されていることを確認するための自動検査と、生産性と効率を向上させるためのカスタマイズ可能なユーザー設定も備えています。ユーザーフレンドリーなメンテナンスとデータ交換インターフェースにより、資産コンポーネントのリアルタイムの観察と制御が可能です。これらの機能は、業界をリードするウェーハプロセスのパフォーマンスを提供するために協力しています。