中古 NIKON NSR TFH 2 #9205047 を販売中

NIKON NSR TFH 2は、最先端の半導体デバイス製造で最も要求の厳しいリソグラフィ要件を満たすように設計された最先端のウェハステッパーです。超高解像度で正確なステージモーションを実現し、波長アライメント精度は0。5nmです。この運動装置は、デュアルステージモジュール（X-YおよびZ軸）を備えたハイエンドリニアモータを使用して、姿勢運動を正確に制御します。ウェーハステージと露出システムには、ウェーハの動きを微細に制御する最高レベルのデータ収集および位置決めコンポーネントが装備されています。ウェーハステッパーは、高度な産業オートメーションシステムと完全に統合された強力なプログラマブルスマートコントローラによって駆動されます。強力なデータ収集と融合技術により、センサー、マシンビジョン、CNC制御、ビジョンシステム、さらには3Dスキャンなどのさまざまなソースから簡単にデータを抽出することができ、分散した製造プロセスにおけるユニットレベルの最適化と統合を可能にします。制御装置はさらに高性能スキャニング白光干渉計（SWLI）ツールと統合されており、ウェハステージの正確で正確なアライメントと位置決めが可能です。NSR TFH 2のレーザー精密ビーム光学モジュールは、リソグラフィープロセスの波長分解能を保証し、ハイエンドイオンおよび電子光学モジュールはピクセル精度の高い高コントラストリソグラフィを提供します。PSM、 LCD、 BD、 DMDMなど、さまざまなフォトマスクに対応しています。さらに、光学トランスミッタモジュールには、光路の収差を補正するアダプティブ光学補正アセットが含まれています。さらに、フレキシブルな光学スペクトルを備えており、幅広い露光波長で優れた性能を発揮します。その汎用性の高いイメージセンサアレイは、信頼性の高い露出制御と優れた画像品質管理を提供します。さらに、NIKON NSR TFH 2は超高速データインタフェースを備えており、機械制御のデータ転送と操作を高速化し、データ通信を高速化するための高帯域接続を実現しています。これにより、各ジョブの完了に要する時間を短縮し、スループットを高速化できます。このマシンはまた、パターンデータの種類とフォーマットの範囲をサポートしているため、データの管理と転送が容易になります。NSR TFH 2は、最先端の半導体デバイス製造プロセスを最高品質のリソグラフィでサポートできる超精密で強力なウェハステッパーです。サブ波長のアライメント精度、ウェーハの動きを正確に制御し、信頼性の高い画質を実現します。そのハイエンド光学とデータ通信機能は、その魅力をさらに高めます。