中古 NIKON NSR SF200 #293817923 を販売中

NIKON NSR SF200
ID: 293817923
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.63 Resolution: 150 nm DCO: 28 Throughput (WPH): 110-120.
NIKON NSR SF200は、重要なウェーハプロセスパラメータを測定するための特別な精度と精度を提供するように設計された高度なウェーハステッパーです。最新の高度なマスク検査およびアライメント技術を活用して、非接触測定と接触測定の両方で優れた性能と精度を実現しています。フレキシブルな設計により、NIKON NSR SF 200は、ウェーハレベルの試験、部品検査、組立、金型アライメントなど、幅広いアプリケーションの可能性を提供します。NSR SF200は、200mmの広いフィールドサイズと調整可能な作動距離で設計されており、コンパクトなフォームファクタで優れたイメージング性能と高精度の両方を提供します。さらに、ウエハサイズは4インチ〜200mm、ステップサイズは0。003 umまで対応可能です。さらに、NSR SF 200の高度な照明システムは、さまざまな検査またはアライメント作業の要件を満たすために、照明の強度と角度を正確に制御することができます。NIKON NSR SF200は、自動欠陥検出、エッジ検出、物体認識、マーク検出、画像アライメントなどの強力な画像処理アルゴリズムと機能を提供します。これらの機能により、ニコンNSR SF 200は、ウェーハの歩留まりに問題が生じる可能性のある欠陥を迅速に検出および分析できます。さらに、その高度な画像センシング技術は、サブミリ分解能のための優れたエッジ認識精度を提供します。汎用性の高いオンボードソフトウェアにより、精度と効率を最大化するために、さまざまなアプリケーションに簡単に設定できます。さらに、高度なプリアライナーツールにより、ユーザーはハイエンドの検査システムで必要とされる細かいアラインメントステップを素早く設定および構成できます。また、NSR SF200の直感的なユーザーインターフェイスにより、システム設定を簡単に構成し、プロセス結果をリアルタイムで監視できます。最後に、NSR SF 200は非常に低い振動性能のために設計されています。NIKON NSR SF200は、幅広い動作機能、柔軟性、精度、高度な機能を備えており、ステッピングシステムの高精度と信頼性を求める最新のウェーハ製造施設に最適です。
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