中古 NIKON NSR SF200 #293597490 を販売中

NIKON NSR SF200は、半導体デバイスの組立・製造において高効率に設計されたウェーハステッパーです。今日の市場で最も先進的なウェーハステッパーの1つになるように設計されています。シングルステージリダクションアーキテクチャにより、ウェーハ処理を高速化し、高いスループットと優れたパフォーマンスを実現します。NIKON NSR SF 200は直径125mmの基板ステージを備えており、単段減速機で最大の製品です。これにより、オーバーレイ精度に優れた高密度パターンの露出を可能にします。PhotonはNIKON Double-Stage Reduction （DSR）マシンをモデルにしており、平面以外のサーフェスを処理する機能を備えています。CFM248露光ヘッドには200Wハロゲン電球を搭載し、ウェーハ用途に低コストの照明を提供します。NSR SF200ウェーハステッパーは、FWD Type 1レンズで最大22nmの優れたパターン精度と解像度を提供します。露出設定を調整する7軸オートチューニング機能を搭載し、より高速で高精度なパターニング性能を実現しています。ステージモーションの速度は最大で800mm/秒に達し、最大露出は1。2kV、伝送量は100％です。NSR SF 200は、ウェーハステッパーの中でも優れた機能を備えています。高度なFEC （Foucs-Exposure Control）と高速マルチパスオーバーレイ調整により、効率的な製造プロセスを実現します。ウェーハステッパーは、小型、低消費電力、堅牢な耐久性を誇り、シンタレスでモジュラー設計されています。NIKON NSR SF200は、画像認識システムを搭載し、時間経過とともに再現可能な精度を実現しています。NIKON Synoptics Operating System上で動作し、HPFocalOneなどの利用可能なソフトウェアが付属しています。この使いやすいソフトウェアパッケージは、露出時のパターンアライメントとオーバーレイのアクティブな監視、データ管理、分析を可能にします。NIKON NSR SF 200は、半導体の生産を効率化するために設計された汎用性の高い、技術的に高度なウェーハステッパーです。大容量と小容量の両方のウェーハアプリケーションに最適なソリューションであり、毎回優れた品質と精度を提供します。