中古 NIKON NSR SF155 #9311227 を販売中

ニコンNSR SF155は、高生産性と汎用性の高いマスクアライナー用に設計されたウェハステッパーです。ステッパーは、MEMS、 LED、センサーなどの高度なデバイスの生産に最適で、さまざまなアプリケーションに優れた性能を提供します。NSR SF155には、最新のNIKON GEN5リソグラフィ源と、高精度で安定したオーバーレイを確保するための特許取得済みの放射線均一制御装置が搭載されています。150mmマスクステージは、最大74mm Xのオーバーラップ範囲を提供し、8インチウェーハを完全に揃えることができます。NIKONの革新的な光学システムとゾーニングユニットは、15 μ mの精度でウェーハをマスクに合わせ≦います。ステッパーの機械式ポジショニングユニットは、ナノメートルレベルの精度で最大150mmの移動範囲を提供し、1回の露出で基板の位置制御を可能にします。ニコンNSR SF155は、ハイスループットのために設計されています。高速かつ効率的なNIKON非対称周波数スキャン機（AFSS）を搭載しており、ワンステップスキャン処理で510WPHのスループットを実現します。ステッパーには、高解像度でモノリシックパターンを露出するための7nmピッチラインを備えたマルチトラックフィールド照明ツールも装備されています。NSR SF155も信頼性と低メンテナンスのために設計されています。クイックゲートバルブ交換アセットはメンテナンスによるダウンタイムを低減し、特許取得済みの超電導静的排除モデルはステッパーの汚染を低減します。また、クリーンルームの状態を維持しながら安全な運転を確保するために、放射線遮蔽と発煙避難装置で設計されています。全体として、NIKON NSR SF155は、MEMS、 LED、センサーなどの高度なデバイスの生産に最適な性能を提供するように設計された先進的な生産ステッパーです。速度、正確さ、および低い維持費の組合せはそれを生産ラインのための理想的な選択にします。