中古 NIKON NSR SF155 #9298590 を販売中

ニコンNSR SF155は、高度なリソグラフィの最も厳しい要件を満たすように設計されたウェーハステッパーです。ユーザーのコスト効率、プロセスの均一性、迅速なアライメント精度を提供する、生産性の高いプラットフォームです。このツールは、同社の特許取得済みの「超解像技術」と最適化された線量率検出器を備えており、最先端のナノメトリック回路パターンを生成することができます。NSR SF155は、フォトリソグラフィー光学モジュール、露光コントローラ、ウェーハステージ、バックサイドアライメントサブシステムからなる大型フィールド高解像度SEMIステップおよびスキャン装置です。このSF155は、優れた光学性能を提供し、55％以上の視野度と1。46の高い数値開口（NA）を提供します。5ミクロン〜300mmまでの幅広い露光が可能で、高度なパターン加工が可能です。このプラットフォームには、モータ制御と優れたパターン配置精度を提供するNSR-EX露出コントローラが搭載されています。ドライアライメントユニットを内蔵した柔軟な干渉アライメントシステムを提供し、サブナノメートルのアライメント精度を10アングストロームまで提供します。機械の動き制御はXおよびY軸で5nm可能であり、スキャン範囲は200nmまで可能です。フォトリソグラフィーツールは、レーザーマーキングレーザーソースを備えており、3ウェハオートローダーを備えているため、生産性と作業効率が向上します。また、コンピュータ統合イメージングパッケージを備えており、幅広い機能を提供します。このプラットフォームは、拡張焦点範囲、ウェハマッピング、5D画像シミュレーションなど、さまざまなオプションでカスタマイズできます。NIKON NSR SF155は、OPCとRETの両方のデータフォーマットをサポートする高度なパターン認識およびラインプロファイル解析モデルも提供しています。また、最も複雑なリソグラフィ用途に必要な3次元のショット形成とラインパターンのステッチも提供しています。この装置は、高スループット動作用に設計されており、衝撃と振動を最小限に抑えた高速スキャン性能を提供します。NSR SF155は、高度な技術と性能を備えた高度なIC製造のための効果的なリソグラフィープラットフォームです。