中古 NIKON NSR SF140 #9351392 を販売中

ニコンNSR SF140ウェーハステッパーは、高度なリソグラフィのための高精度ツールです。半導体デバイスの大量生産用に設計された露出装置で、20nmまでの特長サイズのICを製造することができます。可変倍率レンズユニットと独自のSPDM制御ソフトウェア「Software Package for Device Manufacturing （SPDM）」を搭載し、正確なアライメントとフォーカスを実現しています。NIKON NSR-SF140は、X軸とY軸の両方で基板を正確に移動させ、必要に応じて回転させることができます。ステッピングモーターを使用して、ICの各層の正確な位置決めのために90度の回転角度で石英ガラスのステップステージを駆動します。ステッパーには、最適な露出条件を確保するための精密アライメントマシンもあります。NSR SF 140は、さまざまなウェーハ処理タスクを実行できます。レーザダイオードまたは連続放射線を利用して層を露出することができ、開発タスクを実行することもできます。前のレイヤーに関して後続のレイヤーを揃えます。エッチングおよび沈殿物の材料；そして、完成品を点検し、テストして下さい。NIKON NSR SF 140は、高精度なリソグラフィーツールであり、高品質のデバイスを作成するために不可欠な反復可能な結果を生成することができます。8インチのウェーハ互換性を持ち、1時間あたり5,000ウェーハまでの高い生産スループットで動作するように設計されています。NSR SF140は、高精度の光学ツールを使用し、0。005 μ mのアライメント精度と0。1 μ mの画像再現性が可能です。アセットも耐放射線性で、歩留まり向上のための振動補償技術を搭載しています。その正確で、速い操作は生産の最もよい質および最も低い費用を保障するのを助けます。NSR-SF140はまた高度の安全機能が装備され、最適の稼働時間を提供する長い寿命があります。さらに、統合された診断ツールと損傷防止機能を備えており、デバイスの歩留まりを向上させます。このモデルには、アライメント精度を高め、スループットを向上させるカスケード露出アーキテクチャも装備されています。要するに、ニコンNSR SF140は、高度で精密なウェーハステッパー装置です。可変倍率レンズシステムと複雑な精度制御ソフトウェアを搭載し、最適な性能を発揮し、高い歩留まりとスループットで様々な作業が可能です。この機械は安全機能を十分に備えており、長寿命であるため、高度なリソグラフィ用途に最適です。