中古 NIKON NSR SF140 #293630225 を販売中

NIKON NSR SF140は、用途範囲が広い可変分野のリソグラフィースキャナで、高いスループットとコスト効率を実現します。高精度な運動、フラットフィールディング、斬新なイメージングオプティクスを組み合わせて、最も困難なマスクレイアウトから優れたパターン品質を提供するように設計された5軸ウェーハステッパーです。そのインテリジェントイルミネーションコントロール（IIC）は、フィーチャーのサイズ、レイアウト、視野に関係なく、一定の露出パラメータを維持します。SF140は広い視野と広いスキャン範囲の互換性を提供しています。フィールド幅は最大1メートル、フィールド高さは150 mmです。このSF140はまた、自動アライメントとスキャン機能により、非常に高速なウェーハスループットと高スループットツールのロードを実現します。バックサイド露出とフィールドの不均一性をサポートし、1つのスキャンで実行されるチップ領域をさらに増やすことができます。ウェハローディングとハンドリングのための負荷とカウントインデックス（L&CI）により、異なるウェハーをステッパーに素早くリロードし、時間を短縮してスループットを向上させることができます。また、このSF140は、高度な光学系が視野全体にわたって高い焦点深度と低い歪みを提供するため、優れた画像均一性を提供します。また、歪み校正、収差補正、エッジ浸食補正のための高度な画像処理アルゴリズムも備えています。その高解像度のイメージングとフォーカス構造は、制御可能なスキャンピッチと光学フォーカスを備えており、非常に細かいパターンと欠陥のないオーバーレイを可能にし、再現性のある結果をもたらします。SF140のボイスコイルモーターベースの設計は、超高速加速、高精度、および機械的再生を提供しません。また、多軸アライメントとスキャン（ロール溶接）を同時に行うこともできます。また、照明スポットサイズが小さく応答時間が速いため、ダブルパターニング技術にも適しています。その他の特徴としては、反電子空間電荷マニピュレータ、反電子反射焦点イオンビーム、レーザーアライメントシステムなどがあり、ウェハの露出に重要です。また、SF140には室内ビーム環境マネジメントシステムがあり、理想的な環境下でも安定した歪みイメージングが可能です。SF140のロボットウェーハ処理機能により、最大50個のウェーハを迅速かつ簡単に処理でき、スループットがさらに向上します。全体的に、NIKON NSR-SF140は、高精度の動き、イメージングオプティクス、および高度なソフトウェアの印象的な組み合わせを提供し、高スループット、高度なパターン機能、優れたオーバーレイ精度をもたらします。