中古 NIKON NSR SF140 #293589679 を販売中

NIKON NSR SF140は、主に半導体デバイスの製造に使用される高性能ウェーハステッパーです。高解像度スキャンヘッド、高度な照明装置、独自のレンズシステムを搭載しており、幅広い材料や基板の高精度パターンイメージングに最適です。本体は、高精度ステッパー移動用のデュアルステージXYZリニアモーターユニットと、高速で正確なウェーハアライメントのためのXYチャック治具機で構成されています。NIKON NSR-SF140は、超高ステージ加速と最小振動のための6軸フレキシアアーキテクチャを備えており、安定したイメージングプロセスを提供します。スタンダードスキャンヘッドには超高解像度5軸ステージを搭載し、ステップサイズは6nmと小型化が可能です。さらに、スキャンヘッド上にあるCCDカメラは26メガピクセルの解像度を持ち、比類のない精度とディテールでウェーハのイメージを提供します。NSR SF 140はまた、イメージング分野全体に均一なBPI （1インチ当たりの明るさ）を提供することにより、基板スループットを向上させる特殊な照明ツールを備えています。光学レンズのアセットは、NA 0。55の複数のタンデムレンズと倍率範囲の5X-100Xで構成されており、高密度パターンでも優れたオーバーレイ精度を提供します。全体的に、NIKON NSR SF 140は、優れたイメージング結果を提供するように設計された高度なウェーハステッパーです。画期的なスキャンヘッド、精密指向のレンズモデル、特殊な照明装置を組み合わせることで、コンパクトでユーザーフレンドリーなパッケージで超高解像度のイメージングと最上位のオーバーレイ精度を実現してNSR-SF140ます。