中古 NIKON NSR SF130 #9391948 を販売中

NIKON NSR SF130ウェーハステッパーは、半導体製造においてリソグラフィパターン生成に使用される高性能・高精度機器です。このシステムは、8「、12」およびより大きなウェーハ上で動作するウェーハ生産用に設計されており、クリティカル層やエッチング後のアライメントを含むウェーハステッパーアプリケーションに採用されています。NIKON NSR-SF130は、0。05ミクロン（1/20,000インチ）の分解能と0。02ミクロンの再現性、0。5度の非正規性精度を提供します。最大450mm/秒のスキャン速度でウェーハをスキャンできます。大口径、シングルビームステップ、リピートユニットで、自動化された機械アライメントを備えています。これは、ウェーハを移動させ、ウェーハ領域全体にわたって機能を正確に再現できることを意味します。NSR SF 130ウェーハステッパーにはプロジェクションレンズが装備されており、非常に小さなサイズの画像を投影することができます。光源はCCDカメラまたは半導体レーザーによって提供され、波長範囲は320nm〜450nmです。安定した信号ビームにより、最高の精度と精度でナノメートルスケールパターンを生成することができます。その洗練された画像センシング技術は、画像が正確にキャプチャされることを保証します。アセットには、サブピクセルレベルで画像のシフトや不完全さを検出し、歪みを補正する機能があります。オプティクスを調整して最適なフォーカスを得るオートフォーカスモデルにより、加工精度がさらに向上します。NIKON NSR SF 130 Wafer Stepperは、露出レベルとフォーカス振幅を選択的に制御できるさまざまな画像最適化機能も提供しています。高度な画像登録装置によりウェーハの厚さと地形を評価し、正確なオーバーレイを可能にします。NIKON GMS-MOTIONと呼ばれるデータオートメーションソフトウェアパッケージを搭載し、パターンマッチングとスループット最適化のプロセスを簡素化します。このシステムは、テンプレートの作成、繰り返し可能なバッチジョブの実行、LCDモニターの情報の表示などの柔軟性を提供します。さらに、NIKON SF130 Wafer Stepperは、NIKONワークステーションと統合され、外部ソフトウェアと統合することができます。NSR SF130 Wafer Stepperは、高精度プロジェクトのための優れた投資です。その高度なイメージング機能、堅牢な構造、自動化の柔軟性により、幅広いウェーハ製造プロセスに適しています。高精度で再現性に優れたNSR-SF130は、半導体デバイスの重要な層の開発に最適であり、歩留まりの向上と生産性の向上に貢献します。